Зондовая станция ручная MPI Corporation MPI TS300SE

Ручная измерительная зондовая станция MPI TS300 с функцией защиты ShielDEnvironment™ предназначена для измерения вольт-фарадных характеристик (DC/CV), а также измерения высокочастотных сигналов (RF) пластин размером до 300 мм в диапазоне температур от -60 до +300°C. Она включает в себя антивибрационную платформу для удобного проведения ежедневных измерений.

ShielDEnvironment™

ShielDEnvironment™ от компании MPI - это высокоэффективная камера для испытаний на локальные внешние воздействия, обеспечивающая условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электромагнитного и светового излучения.

ShielDCap™

Полностью конфигурируемая часть камеры MPI ShielDEnvironment™ обеспечивает использование до 4-х микропозиционеров для высокочастотных измерений или до 8-ми микропозиционеров для высокотемпературных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию.

Передвижение держателя стола на воздушной подушке

Станция TS300-SE имеет ту же уникальную конструкцию держателя с передвижением на воздушной подушке как у всех ручных станций TS150, TS200, TS300 c простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм. Кроме того станция имеет уникальное передвижение (подъем платформы) по оси Z.

Уникальный механизм подъема платформы

Конструкция механизма подъема платформы с повторяемостью (1 мкм) имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, перемещения (300 мкм) и загрузки (3 мм). Механизм подъема также оснащен безопасным запорным приспособлением, которое препятствует случайному наклону платформы. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины и обеспечивают интуитивное и точное размещение контакта, безопасную установку и повторяемость.

Дополнительный фиксатор платформы в положении «контакт» имеет фиксированные высоты (50, 100 или 150 мик.) для легкого и удобного касания кристалла щупами головками.

Уникальный держатель по оси Z

• Дополнительно к перемещению держателя пластин на воздушной подушке по оси XY    возможность подъема по оси Z на 5 мм,  с разрешением в микрометровом диапазоне для точного контакта и глубины вхождения в контакт щупов зондовой головки.
• Указатель со шкалой 1 мм для удобства работы оператора.
• Дополнительный пневматический подъемник 20 мм  для легкой загрузки/разгрузки пластины.

Держатели полупроводниковых пластин

Станция TS300-SE доступна с различными моделями держателей для соответствия различным бюджетам и требованиям.

Новые температурные держатели серии PRIME™ для пластин диаметром 300 мм, совместная разработка компаний MPI и ERS, открывают возможности для большого выбора темпеартурных держателей. Станции можно конфигурировать в широком диапазоне температур: от -60°C, -40°C, -10°C, 20°C или 30°C до 200°C или 300°C (в зависимости от необходимой термической стойкости, различных запросов и бюджетов). Серия PRIME™ поддерживает проведение испытаний при температуре -10°C без использования чиллера или при температуре -40°C с использованием маленького чиллера, что делает систему экономически эффективной и позволяет снизить общую стоимость испытаний. Сокращение времени переходного процесса, улучшенные электрические характеристики, упрощенная процедура проведения испытаний в инертной атмосфере и возможность модификации являются дополнительными преимуществами температурных держателей пластин серии PRIME™. Температурные держатели пластин: коаксиальные, триаксиальные, высокочастотные с двумя дополнительными держателями из керамики для прецизионной высокочастотной калибровки.

Интегрированная терморегуляция

Дверца для загрузки пластин закрывается при любой температуре ниже 15°C – эта уникальная характеристика делает TS300-SE одной из самых безопасных станций на рынке.

Более того, управлять температурным держателем пластин легко при помощи встроенного сенсорного дисплея терморегулятора, расположенного перед оператором

Встроенная запатентованная ERS технология охлаждения AC3

Держатели включают запатентованную технологию охлаждения AC3 по шкале ERS и систему управления подачей воздуха для очистки системы MPI ShieldEnvironment™ использованным воздухом, сокращая, таким образом, потребление воздуха на 30 – 50 % по сравнению с другими станциями, представленными на рынке.

Различные модели микроскопов

Доступен широкий выбор микроскопов iMAG® M или монокулярные микроскопы MPI SuperZoom™ SZ10, MegaZoom™ MZ12 с макс. 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 42 мм или EeyZoom™ EZ10 – с 10-кратным оптическим увеличением с эргономичными 20x окулярами, расстоянием фокусировки 90 мм и оптической разрешающей силой до 2 мкм.

Уникальные возможности модификации

Модульный дизайн станции TS300-SE обеспечивает уникальные возможности для модификации. Все приставные контактные измерительные устройства станции TS300-SE, такие как термодержатели, микроскопы, позиционеры можно модифицировать или изменять конфигурацию для соответствия различным требованиям применения, включая продолжительность эксплуатации станции для значительного снижения эксплуатационных расходов.

Зондовая станция MPI TS300-SE с функцией защиты ShielDEnvironment™ обеспечивает максимальную защиту от электромагнитного излучения для малошумных и малоемкостных измерений для различных областей применения, например, получение характеристик устройств и моделирование, RF/СВЧ-излучение, проверка надежности на уровне пластины, анализ отказов, проверка правильности проекта ИС и измерений высокой мощности.