Зондовая станция ручная MPI Corporation MPI TS50

Зондовая станция MPI TS 50 предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов. Станция подходит для целей исследования и разработки, а также обучения по технологиям ИС на одиночных образцах. Идеальный прибор для согласования нагрузок и замера ВЧ-шумов

Основные возможности

• Эргономичный дизайн.
• Надежная и стабильная конструкция при небольших (300х300 мм) размерах подставки.
• Устойчивая платформа, допускающая установку до 6 DC или 2 RF-позиционеров.
• Легкое позиционирование штатива и микроскопа.
• Русскоязычное ПО.

Функции и преимущества

Упрощенная платформа
Станция TS50 может иметь два различных варианта управления платформой держателя пластин. Упрощенная платформа представляет собой блок с вакуумным управлением, управление осуществляется одной рукой. Платформа обеспечивает быстрое и интуитивное перемещение по осям XY и вращение (Theta) и является стандартной конфигурацией для выполнения простых измерений ВАХ и вольт-фарадных характеристик

Платформа с линейным перемещением по осям XY в диапазоне 50 x 50 мм
Данная платформа обеспечивает быстрое и независимое линейное перемещение по осям XY в диапазоне 50 x 50 мм, а также точное перемещение в диапазоне 25 x 25 мм с помощью микрометрических винтов по осям XY и вращение (Theta). Она обязательна для высокочастотных держателей пластин или в комбинации с термическими держателями пластин.

Регулировка по высоте 20 мм
Точная регулировка зондовой платформы по высоте составляет 20 мм и требуется для поддержки различных измерений. Кроме того, она используется для управления контактом/зазором одновременно всех микропозиционеров.

Триаксиальный держатель пластин
Для реализации высокочастотных измерений зондовая станция TS50 оборудована 50 мм триаксиальным держателем наряду с дополнительным держателем, встроенным в керамический материал для размещения высокочастотных калибровочных пластин.

Регулировка микропозиционеров по осям XYZ
Также стандартной характеристикой, обеспечивающей выравнивание между высокочастотными зондами, является регулировка двухпортовых высокочастотных микропозиционеров по осям XYZ

Конфигурации микропозиционеров
На зондовой станции можно разместить до восьми микропозиционеров MPI MP25 для измерения ВАХ или шести микропозиционеров MPI MP40 для высокочастотных измерений с целью удовлетворения различных требований к подложке и топологии устройства.

Различные микроскопы
Предлагается большой ассортимент микроскопов. Можно выбрать стереоскопический микроскоп для выполнения традиционных измерений на постоянном токе и вольт-фарадных характеристик. Также предложены монокулярные микроскопы с большим увеличением для высокочастотных конфигураций или конфигураций с активным согласованием.

Держатель кристаллов
Держатель для кристаллов превращает станцию TS50 в платформу для тестирования устройств с размером от 1x1 мм. Он содержит устойчивый и удобный в работе вакуумный переключатель для правильной фиксации кристаллов, имеющих размер до 10x10 мм. Включение держателя для интегральных калибровочных подложек на одной высоте позволяет выполнять высокочастотные измерения. Его можно устанавливать на любом держателе полупроводниковых пластин, включая термические держатели.