Зондовая станция полуавтоматическая FormFactor Summit 12000B-S

Зондовая платформа Summit™ производства компании Cascade Microtech уже давно присутствует на рынке решений, обеспечивающих проведение измерений полупроводниковых устройств на пластине, пережило несколько поколений и постоянно обновляется (появляются новые технологические решения) и успела себя зарекомендовать с лучшей стороны, в том числе и у российских пользователей.

Данные установки позволяют проводить все виды параметрических измерений (как высокочастотных, так и по постоянному току) на полупроводниковой пластине в ручном или автоматическом режимах. На станциях используется большое количество запатентованных технологий (MicroChamber™, PureLine™, AttoGuard® и др.), позволяющих существенно уменьшить количество шумов, как существующих в окружающем пространстве, так и вносимых оборудованием самой зондовой станции. Вдобавок ко всему, станция серии Summit™ может быть и в высоковольтном/высокоамперном исполнении (серия Tesla™) для возможности проведения измерений на высокомощных устройствах, например MOSFET-транзисторах.

Станция может оснащаться:

• одной из множества микроскопных систем с максимально возможным увеличением 8 000x
• 2 000x для цифровой системы "технического зрения" eVue™;
• высокопроизводительной лазерной системой серий EzLaze3 или QuickLaze50 , устанавливаемой на микроскоп. Подобные лазеры необходимы на аналитических станциях, их применение необходимо для снятия покрытий, корректировки сопротивления на кристалле, отсечения контактных дорожек и в других применениях, необходимых пользователю;
• одной из предлагаемых термальных систем с максимальными температурами охлаждения/нагрева пластины от -60°C до +300°C;
• оснасткой для установки проб-карт, позволяющих проводить многоконтактное зондирование;
• программным обеспечением Keysight WaferPro Express®, позволяющем проводить полностью автоматизированные измерения на пластине при различных температурах (при условии наличия термосистемы) с помощью приборов.

Благодаря применению станции Summit™ время измерения шумов, токов утечки, ёмкостных характеристик могут быть существенно сокращены. Станция может быть легко реконфигурирована под требуемые задачи, будь-то измерения по постоянному или переменному напряжению, ВЧ- и МВ-измерения, анализ на отказ, определение уровня надёжности устройства на кристалле (RTP) и др.

Зондовая станция Summit™ может быть скофигурирована под задачи измерения в частотном диапазоне до 110 ГГц и даже выше - до 1 ТГц. Также станция подходит для Load Pull-измерений и измерений коэффициента шума в частотном диапазоне от 1 до 110 ГГц. Расширенная столешница и специальные позиционеры для расширителей частотного диапазона Keysight, VDI или OMS или импедансных тюнеров Maury позволяют разместить всё оборудование как можно ближе к измеряемому устройству и снизить влияние изгиба измерительных кабелей.