Зондовая станция ручная FormFactor PMV

Существует ряд задач, в которых требуются проведение измерений электронных устройств на пластине в условиях вакуума. Так, например, для создания различных сенсоров, работающих в условиях космоса требуется проверить их работоспособность. Вакуумная зондовая станция позволяет сымитировать условия космоса, в том числе сымитировать возможные охлаждение и нагрев устройств.

Приборы на основе новых перспективных технологий, MEMS-устройства, миниатюрные электровакуумные приборы для стабильной работы требуют высокого уровня разреженности воздуха, а следовательно, и высоких финансовых затрат. Каждое устройство необходимо изготовить, корпусировать, подготовить к измерениям - заводское тестирование таких устройств может составить от 60 до 80 процентов их конечной стоимости. Проведение измерений ещё не корпусированных электронных устройств на зондовой станции может сократить такие издержки в несколько раз.

Вакуумные зондовые станции FormFactor позволяют:

• Проводить измерения как в ручном, так и в полуавтоматическом режимах;
• Создавать условия высокого вакуума до 105 - 106 мбар;
• Охлаждать и нагревать полупроводниковые пластины в диапазоне от -60 до +300 градусов Цельсия;
• Удерживать не только пластины целиком, но и работать с отдельными частями пластины или микросборками.

Станции могут поставляться в трёх вариантах: лабораторной станции PLV, ручной зондовой станции PMV или полуавтоматической зондовой станции PAV.

Полуавтомат PAV управляется с помощью ПО Velox™, которое является основным органом управления всех зондовых станции FormFactor; работа зондовой станции может быть автоматизирована совместно с различными измерительными приборами, например, с помощью ПО автоматизации Keysight WaferPro Express. Все станции полностью совместимы с промышленными интерфейсами подключения и используют стандартные процедуры проведения контактирования на пластине.