Зондовая станция ручная FormFactor TESLA200 manual

Системы Tesla™ производства FormFactor являются законченными решениями для обеспечения снятия электрических характеристик мощных полупроводниковых устройств на пластине, таких как структуры MOSFET, IGBT, BJT. Зондовые станции этой серии разработаны для работы с уровнями напряжений до 3 000 Вольт (до 10 000 Вольт при коаксиальном подключении) и 60 Ампер, мощностью до 100 Вт/см2.

Такие значения достигаются с помощью специального механизма держателя пластин, обеспечивающего малое контактное сопротивление с подложкой, упрощающего удержание тонких пластин и рассеяние мощности, и в тоже время, обеспечивающий полностью защищенные измерения с низким уровнем шумов.

В высоковольтных применениях важную роль играет защита оператора от высоких токов и напряжений, поэтому в системе предусмотрена как физическая защита оператора в виде прозрачных шторок (или заземлённого бокса в случае EPS150Tesla), так и оптическая ("инфракрасная ограда" в случае TESLA200 и TESLA300). Станция Tesla™, при наличии термальной системы, также позволяет стабильно проводить измерения в диапазоне температур от -60°C до +300°C.

Ручная станция TESLA200 на основе платформы Summit - намного более продвинутое решение нежели EPS150TESLA. Держатель пластин станции диаметром 200 или 300 мм, помещённый в защитную микрокамеру MicroChamber® позволяет проводить более точные измерения. Станция имеет, возможности установки цифровой видеосистемы микроскопа (или лазера), термальной системы для работы с температурами от -60°C до +300°C и большое количество опций. Для защиты от поражения высокими токами и напряжениями на станции устанавливается удобная система "инфракрасной ограды" и система интерлок. Станция предназначена для работы с мощными электронными устройствами, допустимые напряжения - до 3 кВ (триаксиал) или 10 кВ (коаксиал), ток - до 400 А (в импульсе) или 10 А (DC), мощность - до 100Вт/см2.