Серия EMT - это турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе, полностью не содержащий углеводородов. Каждая модель в ассортименте отличается исключительной ценностью и оснащена новейшей технологией активной магнитной подвески, обеспечивающей долгие годы надежной и безаварийной работы. Прочная конструкция может выдерживать нечастые ударные нагрузки в условиях высокого расхода или вентиляции, а модели со специальным коррозионно-стойким покрытием справляются с самыми жесткими химическими веществами.
Доступны пять основных моделей насосов с контролем температуры, коррозионной стойкостью, сверхнизкой вибрацией и т. д.
Особенности
- Установка в любой ориентации.
- Ротор с длительным сроком службы.
- Энергоэффективные двигатели.
- Быстрый запуск.
- Быстрое отключение (с вентиляционным отверстием).
- Прочная составная конструкция ротора для подачи воздуха.
- Компактный размер.
- Различные средства связи по полевым шинам RS485, Profibus, EtherCAT.
- Автоматическая калибровка.
- Отсутствие вибрации (<0,01 микрона).
- Воздушное или водяное охлаждение.
- Стандарты безопасности UL, CE, SEMI, NRTL.
Применение
- Полупроводниковые процессы.
- UHV.
- Системы нанесения тонкопленочных покрытий.
- Метрология.
- Производство фотоэлектрических систем/светодиодов.
- Аналитические приборы.
- RGA/SEM.
- Исследования и разработки.
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
EMT3000MK |
|
Скорость откачки N2 (l/s) |
2600 |
|
Скорость откачки He (l/s) |
2500 |
|
Предельное давление (Torr) |
< 1.5х10-9 |
|
Макс. обратное давление (Torr) |
1.28 |
|
Форвакуумный насос (рекомендуется) (l/min) |
1000 |
|
Входной фланец |
ISO-F250 |
|
Выходной фланец |
ISO-F250 |
|
Вес (kg) |
72-74 |
|
Крутящий момент ротора (Nm) |
67.500 |
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
