Турбомолекулярные насосы масляные серии TG.
Используются шарикоподшипники с масляной смазкой. Модели для использования в химической промышленности доступны в каждом классе с производительностью от 200 л/с до 5500 л/с для использования в системах отвода агрессивных газов.
Особенности
- Коррозионностойкий тип для агрессивных газов.
- Прочная конструкция для подачи воздуха.
- Прочный, устойчивый к внешним воздействиям.
- Последовательная связь. Последовательный интерфейс RS232C.
- Соответствует признанным стандартам безопасности NRTL/SEMI-S2/CE.
Применение
- Производство полупроводников.
- Выхлоп электронного пистолета, выхлоп источника ионизации.
- Производство FPD.
- Обработка поверхности, модификация поверхности.
- Производство различных электронных компонентов.
- Производство ламп, оптических компонентов.
- Ускоряющее устройство, радиационная установка, исследования ядерного синтеза.
- Термическая обработка.
- Исследования и разработки. Для чистых процессов доступны серии TG-F, TG-M и TGkine.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель |
TG553 |
|
|
Входной фланец |
VG150 |
|
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
550 |
|
N2 (с защитным экраном) |
430 |
|
|
H2 |
370 |
|
|
Максимальная степень сжатия |
N2 |
1×108 |
|
H2 |
3×103 |
|
|
Базовое давление |
VG・ISO-B/CF (Pa) |
<1×10-6 |
|
VG・ISO-B/CF (Torr) |
<7.5×10-9 |
|
|
Макс. пропускная способность1 (sccm) |
N2 |
1500 |
|
Время запуска (min) |
8-13 |
|
|
SВремя отключения (min) |
8-11 |
|
|
Макс. обратное давление (Pa/Torr) |
300/2.3 |
|
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
250 |
|
|
Необходимое количество смазочного масла (ml) |
260 |
|
|
Позиция |
Вертикально (±10℃) |
|
|
Вес (kg) |
41 |
|
|
Контроллер |
TC553 |
|
Примечания
1При использовании подпорного вакуумного насоса производительностью 500 л/мин.
Температура окружающей среды для использования. Диапазон температур окружающей среды, обеспечивающий достижение максимального давления, составляет 10-23 ℃. Допустимая температура окружающей среды составляет 10-32℃ для воздушного охлаждения и 10-40℃ для водяного. Максимальная температура охлаждающей воды, обеспечивающая предельное давление, составляет 30℃, а допустимый диапазон температур охлаждающей воды составляет 10-35℃.
Соответствующие газы. Некоторые виды газа, подлежащего откачке, могут привести к повреждению насоса.
Контроллер
| Параметр | Значение |
|
Модель |
TC553 |
|
Входное напряжение (ACV) |
200-230 (±10%) |
|
Входные фазы |
Single |
|
Входная частота (Hz) |
50/60 |
|
Входная мощность (VA) |
1200 |
|
Номинальная выходная частота (Hz) |
400 |
| Вес (kg) | 8.2 |
|
Стандартные принадлежности |
Входной разъем: 1 |
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
