Серия EBT — это высокоэффективные и экономичные решения, обеспечивающие чистое и надежное создание вакуума. Роторы новой составной конструкции могут выдерживать нечастые ударные нагрузки в условиях высокого расхода или вентиляции. Улучшенная эффективность приводит к более высокой скорости откачки и сжатию газа. Это обеспечивает более высокое давление в форвакуумной линии, что делает их идеальными для различных применений, включая сверхвысокое вакуумное давление, мобильные вакуумные тележки и аналитические системы.
Особенности
- Установка в любом положении.
- Керамические подшипники с длительным сроком службы.
- Энергоэффективные двигатели.
- Быстрый запуск.
- Быстрое отключение (с воздухоотводчиком).
- Прочная конструкция для подачи воздуха.
- Компактный размер.
- Последовательная связь.
- Автоматическая калибровка.
- Отсутствие вибрации (<0,25 мкм).
- Воздушное или водяное охлаждение.
- Стандарты безопасности UL, CE, SEMI, NRTL.
Применение
- Вакуумные тележки сверхвысокого напряжения.
- Системы покрытия стекла/тонкой пленки
- Метрология.
- Производство фотоэлектрических/светодиодных панелей.
- Аналитические инструменты.
- RGA/SEM
- Исследования и разработки.
Для работы насосов требуется контроллер, который зависит от модели насоса. EBT70/240 предлагают встроенные контроллеры в качестве опции. Они сообщаются с вакуумной системой.
Требуются кабель двигателя и кабель вентилятора (при воздушном охлаждении). Подтвердите приблизительное расстояние, на котором вы разместите контроллер относительно турбонасоса. Кабели доступны в стандартных размерах 3/5/10/15/20 м.
Параметр |
Значение |
Модель |
EBT70F |
Скорость откачки N2 (l/s) |
75 |
Скорость откачки He (l/s) |
50 |
Скорость откачки H (l/s) |
40 |
Коэффициент сжатия N2 |
1x10^8 |
Коэффициент сжатия H |
1x10^5 |
Предельное давление (Torr) |
< 7.5х10-10 |
Макс. обратное давление (Torr) |
9 |
Предельное давление (Pa) |
< 1,00E-7 |
Форвакуумный насос (рекомендуется) (l/min) |
> 25 |
Входной фланец |
ISO-K63, CF63 |
Выходной фланец |
ISO-K63, CF63 |
Пропускная способность N2 (sccm) |
10 |
Время запуска (min) |
2 |
Время остановки (min) |
2 |
Охлаждение |
Воздушное/Водяное |
Высота (mm) |
144-170 |
Размер (диаметр, mm) |
Ø102 |
Вес (kg) |
3-5 |
Крутящий момент ротора (Nm) |
350 |
Контроллер |
ETC76 |
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Банковские карты
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.