Серия TG-MU предназначена для эффективного откачивания легких газов из области высокого вакуума в область сверхвысокого вакуума за счет снижения газовыделения материалов и повышения эффективности сжатия водорода.
Предельный вакуум может быть реализован в диапазоне порядка 10-9 Па (в пределах 10-11 Торр) в течение короткого периода прогрева.
Применение
- Аналитические приборы, анализ поверхности и сверхвысокого вакуума R＆Ds.
- Сверхвысоковольтные процессы обработки тонких пленок полупроводников и МЭМС.
- Энергетические исследования, ускорители, ядерный синтез и т.д.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Модель |
TG1300MU |
|
|
Входной фланец |
CF200 |
|
|
Объемный расход (l/s) |
N2 |
1300 |
|
N2 (с защитным экраном) |
1230 |
|
|
H2 |
1200 |
|
|
Макс. степень сжатия |
N2 |
1×108 |
|
H2 |
6.0×104 |
|
|
Базовое давление (Pa/Torr) |
< 1×10-8/< 7.5×10-11 |
|
|
Макс. пропускная способность1 (sccm) |
N2 |
3000 |
|
Время запуска (min) |
4-5 |
|
|
Время отключения (min) |
4-5 |
|
|
Максимальное обратное давление (Pa/Torr) |
500/3.8 |
|
|
Рекомендуемый подпорный вакуумный насос (l/min) |
≧250 |
|
|
Вес (kg) |
42 |
|
|
Контроллер |
TC010MA |
|
Примечяния
1В случае вспомогательного вакуумного насоса производительностью 1000 л/мин.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.