Насос турбомолекулярный Shimadzu TMP-V3304LM

Параметр

Значение

Модель

TMP-3304LM

Входной фланец

VG300/VG350/ISO320B

Выходной фланец

KF40

Метод охлаждения

Водяной

Предельное давление (после обжига)¹

10^-7 Pa порядка

Макс. допустимый расход аргона

1500 mL/min¹

Макс. допустимое давление на входе (непрерывный выпуск N₂)

40 Pa

Максимально допустимое давление на выходе

270 Pa

Скорость откачки²

N₂

3200 L/s

Ar

3100 L/s

H₂

2200 L/s

He

3100 L/s

Коэффициент сжатия

N₂

1x10⁹ или больше

He

1x10⁵

H₂

6x10³

Номинальная скорость

27600 rpm

Время запуска

12 минут или меньше

Монтажное положение

В любом желаемом направлении

Уровень вибрации (по методу Shimadzu)

0.01 µm или меньше (0-peak)

Рекомендуемый расход продувочного газа

30 mL/min¹

Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса при продувке газом

1500 L/min или больше

Температура окружающей среды

от 0 до 40 °C

Допустимое окружающее магнитное поле

Радиальное направление

3 mT

Осевое направление

15 mT

Вода

Скорость потока

2 to 4 L/min

Давление

от 0.2 до 0.5 MPa

Температура

от 5 до 25 °C

Масса

макс. 84 кг

Блок питания

EI-R04M

Взаимозаменяемая совместимость

Кабель управления взаимозаменяем между любым насосом и блоком питания.

Изменение скорости

Скорость регулируется в пределах от 25% до 100% от номинальной скорости. (задано как 0.1 %)

Коммуникация

Связь

REMOTE (MR-34)

Input: START / STOP / RESET / LOW SPEED
Output: ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING

Порядок

Передняя панель: RS-232C (D-sub 9 pin male, размер винтового замка M2.6)
Задняя панель: RS-485 (D-sub 9 pin female, размер винтового замка: M2.6)

Environmental conditions

Температура

Режим работы от 0 до 45 °C (без конденсации росы)

Относительная влажность

от 40 до 80 %

Потребляемая электрическая мощность

Напряжение

Однофазный от 200 до 240 В переменного тока ± 10 % (50/60 Гц ± 2 Гц)

Макс.мощность

1.5 kVA

Масса

8 кг