Насос ионнно-геттерный SAES NEXTorr D 2000-10

Насосы NEXTorr UHV - это компактные насосы сверхвысокого вакуума, которые эффективно сочетают в себе ионный насос с распылением (SIP) и не испаряющийся геттерный насос (NEG) в вакуумном решении, отличающемся высокой скоростью откачки и производительностью, но сохраняющем малый вес и минимальную занимаемую площадь.

Серия NEXTorr «D», основанная на сплаве St 172 (Zr-V-Fe) NEG, работает в области UHV/XHV.

Серия NEXTorr «Z», основанная на новом сплаве ZAO (Zr-V-Ti-Al) NEG, разработана для дальнейшего повышения скорости и производительности перекачки H₂ при сохранении прежней компактности.

Обе серии оснащены одним и тем же распылительно-ионным насосом: модели CF35 и CF63 с фланцем оснащены диодным насосом мощностью 6 л/с (Ar) и 15 л/с (CH₄); модели CF100 с фланцем оснащены диодным насосом мощностью 10 л/с (Ar), 32 л/с (CH₄).

Для применений, требующих более высокой производительности при работе с инертными газами, насосы NEXTorr D500-StarCell и NEXTorr D1000–StarCell являются идеальными решениями. Они сочетают в себе два высокоскоростных картриджа NEG 500 и 1000 л/с (H₂) и ионный насос StarCell с производительностью 21 л/с (Ar) и 30 л/с (CH₄).

Общие характеристики

• Компактный, малый вес.
• Высокая и постоянная скорость перекачки всех активных газов в UHV-XHV.
• Скорость перекачки инертных газов и метана.
• Длительный срок службы в UHV-XHV.
• Незначительное энергопотребление при эксплуатации.
• Уменьшенные магнитные помехи.
• Возможность индикации давления в системе.
• Не требует технического обслуживания.

Применение

• Повышение предельного вакуума в системах UHV-XHV.
• Ускорители частиц, источники синхротронного излучения.
• Системы улавливания атомов/ионов, атомные часы/фонтаны, интерферометры.
• Сканирующая/просвечивающая электронная микроскопия.
• Портативные вакуумные приборы и чемоданы.
• Системы анализа поверхности.
• Сверхвысокочастотные системы общего назначения.