Насос турбомолекулярный KYKY CXF-320/3002

Турбомолекулярный насос CXF-320/3002 (320 - DN входного фланца, 3002 - быстрота откачки по воздуху в л/с). Быстрота откачки - 3260 л/с. Предельное давление – 1×10-7 Па.

Турбомолекулярные насосы с технологией магнитного подвеса

Магнитно-левитирующий подшипник KYKY состоит из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Во время работы он может плавать в воздухе за счет магнитной силы без какой-либо механической поддержки; поэтому смазка не требуется. Подшипник на магнитной подушке KYKY представляет собой электромагнитный подшипник с 5-осевой структурой. Эта конструкция имеет динамическую реакцию и своевременную регулировку с помощью динамической активной технологии управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, основанной на передовой теории управления, чтобы гарантировать такие значительные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.

Магнитно-левитирующий подшипник KYKY может применяться для контроля рабочего положения турбомолекулярных насосов и передачи рабочего положения обратно в блок управления, так что автоматическая компенсация баланса ротора может быть реализована с помощью алгоритма. Молекулярные насосы KYKY, оснащенные подшипником на магнитной подушке, не требуют смазки и специального обслуживания, имеют низкий уровень вибрации и могут быть установлены в любом положении.

Техническое описание насосов

Турбомолекулярные насосы на магнитной левитации — это насосы, вал которых поддерживается силой магнитного поля. Серийные молекулярные насосы на магнитной подушке представляют собой оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленных гальванопокрытий и научных приборов, со скоростью откачки 1400 л/с-3000 л/с, рабочим давлением 20 Па до 10-7 Па и тремя типами входных газовых соединений ISO-K, ISO-F и ISO-CF.

Технология управления приводом двигателя

Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются к серийным насосам на магнитной подвеске, чтобы иметь максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования энергии вращения.

Технология композитного ротора из углеродного волокна

Турбороторы серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской изготавливаются путем соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению со всеми роторами из алюминиевого сплава, турбороторы характеризуются значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, так что достигаются цели высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.

Технология защиты от коррозии

Поверхности деталей в камерах серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской обрабатываются специальным образом, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников, в течение длительного времени. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполняют пространство в валах насосов для защиты низковакуумных частей в насосах, так что реализуется функция стабильного отвода агрессивных газов в течение длительного времени.

Система контроля температуры нагрева

Серийные молекулярные насосы на магнитной левитации оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, так что во время работы можно контролировать и контролировать охлаждающую воду, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, температуру в насосы могут поддерживаться на установленном значении в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не оседают в насосах, и могут быть выполнены требования для специального процесса, такого как травление.