Турбомолекулярный вакуумный насос Agilent TwisTorr 84 FS

TWISTORR продолжают инновационные традиции компании Varian (в наст. вр. Agilent) – родоначальника и безусловного лидера в производстве Турбомолекулярных насосов с полностью механической подвеской для научно-исследовательских применений и приборостроения.

• Скорость
  
  Насос обладает лучшим в своем классе производительности соотношением скорость откачки/габариты (степень сжатия/габариты) благодаря усовершенствованной конструкции стадий молекулярной откачки.

• Надежность
  
  Agilent Floating Suspension: инновационное решение гибкой подвески ротора гарантирует низкую вибрацию и шумы менее 50 dB, равно как и увеличенную устойчивость подшипников и ротора к повышенным нагрузкам. Увеличенные надежность и срок службы при работе насоса в любой ориентации.

• Чистота вакуума
  
  Усовершенствованные подшипники с сухой консистентной смазкой с предельно низким давлением паров гарантируют отсутствие следов углеводородов в вакуумной камере и не нуждаются в обслуживании в течение всего срока службы.
  
  Среднее время наработки на отказ (MTTF) любого турбомолекулярного насоса модели Turbo-V и модели TwisTorr показало результат превышающий 200 000 часов

Технология TwisTorr - лучшие показатели степени сжатия

По аналогии с проверенными временем насосами Agilent Turbo-V новая серия насосов TWISTORR оснащена двумя последовательными стадиями сжатия. Дополнительная молекулярная стадия усовершенствованного дизайна (диск с двухсторонней спиральной проточкой) значительно улучшает показатели степеней сжатия, в том числе при низком вакууме и для всех легких газов, снижая требование к производительности насоса предварительного откачки

Компактный дизайн

Усовершенствованный дизайн монолитного ротора позволил значительно сократить габариты турбомолекулярного насоса, создавая тем самым дополнительные возможности для интеграции насоса в вакуумные системы и оборудование. Ротор TWISTORR - значительно легче и компактнее конкурентных "аналогов".

Плавающая подвеска (FS-Floating Suspension) - повышенная надежность и срок службы

Благодаря уникальной конструкции подшипников, обеспечивающих гибкую "плавающую" подвеску ротора, Турбомолекулярные насосы TWISTORR обладают повышенной устойчивостью к экстремальным газовым нагрузкам и, следовательно, увеличенным сроком службы.

TWISTORR FS - низкий шум и вибрация

Особая конструкция подвески ротора - привела к созданию также самого бесшумного (менее 50 db) насоса с уникально низкой вибрацией. Таким образом, насос идеально приспособлен для использования, как в исследовательских, так и в приборостроительных применениях.

Гибкость использования

• Возможность использования интегрированных, либо внешних контроллеров (входное напряжение 48 Вольт)
• При использовании универсального контроллера со встроенным электронным дисплеем - возможна работа с двумя активными датчиками
• Логический I/0 и последовательный (RS 232/485) интерфейсы
• Регулировка частоты вращения
• Система продувки/напуска атмосферы предусматривающая функцию контролируемой остановки насоса, обеспечивает защиту подшипников от частиц и коррозионных газов
• Возможность использования водяного охлаждения
• Медный канал водяного охлаждения для улучшенной теплопередачи и повышенной устойчивости к коррозии

Монолитный ротор

Запатентованное металлорежущее и электрогальваническое оборудование, работающее под управлением программного обеспечения СAD/CAM позволяет изготавливать монолитные роторы из единой заготовки высокотехнологичного алюминиевого сплава. Данное основное технологическое достижение увеличивает срок работы насоса по нескольким причинам:

• Уменьшается вес ротора, что позволяет устанавливать насос в абсолютно любой пространственной ориентации без ухудшения характеристик работы насоса
• Уменьшенный вес узлов насоса уменьшает напряжение в материале деталей и в подшипниках, в результате также увеличивая срок работы насоса

Высокая газовая нагрузка

При разработке насосов фирма AGILENT всегда делала акцент на приложениях с высокой газовой нагрузкой. Благодаря современным методам компьютерного моделирования ступени насоса оптимизированы с целью наименьшего потребления электроэнергии и нагрева лопаток насоса при работе в условиях высокой газовой нагрузки.

Подшипниковый узел

Шарики этих подшипников сделаны из нитрида кремния, поликристаллического материала с аморфными межгранульными связями, что имеет следующие преимущества:

• Твердость
  
  Нитрид кремния вдвое тверже стали, что сильно снижает поверхностный износ и минимизирует отрицательные эффекты поверхностного контакта и давления.

• Вес
  
  Плотность нитрида силикона на 40% меньше, чем плотность стали, что понижает центробежную нагрузку и уровень внутреннего напряжения на высоких скоростях вращения.
  
  
• Трение
   
  Низкий коэффициент трения нитрида силикона увеличивает поверхностную устойчивость шариков и увеличивает срок службы подшипника в целом.

• Температурная стабильность
  
  Обладая низким температурным коэффициентом расширения, нитрид силикона обеспечивает постоянную величину зазоров у движущихся деталей в широком диапазоне температур, кроме того этот материал имеет особенно высокую устойчивость к температурному удару.

• Химическая стабильность
  
  Нитрид силикона фактически инертен. Другое отличительное свойство таких подшипников – твердая смазка, которая не “газит” и фактически не содержит углеводородов. Использование такой смазки в закрытых подшипниках обеспечивает чистую надежную работу, без необходимости какого либо обслуживания или профилактики.

Программное обеспечение

Благодаря программному обеспечению Navigator T-Plus вы можете подсоединить ноутбук к контроллеру насоса и начать работать. Вы можете включить или остановить насос, при этом разгон ротора будет происходить в строгом соответствии с температурным режимом и газовой нагрузкой. В режиме реального времени Вы можете контролировать параметры работы насоса на дисплее ПК. Полученные данные в дальнейшем можно использовать для расчетов и оптимизации вашей вакуумной системы и технологических процессов.

Встроенный контроллер

Встраиваемый контроллер «Plug & Pump», работающий под управлением программного обеспечения Navigator T-Plus. Управление работой насоса еще не было так просто и удобно, как при работе с программным обеспечением фирмы AGILENT.

• Турбомолекулярные насосы широко используются в физике высоких энергий, термоядерной физике и в общих исследованиях в области сверхвысокого вакуума. Синхротронные источники света, кольцевые ускорители частиц, лабораторные исследования сверхвысокого вакуума и термоядерные реакторы нуждаются в предельно чистых, надежных и экономичных, не требующих обслуживания насосах высокого и сверхвысокого вакуума.
• Турбомолекулярные насосы компании Agilent обеспечивают непревзойденную надежность, производительность и чистоту для этих приложений. Керамические подшипники насоса, благодаря пониженному трению качения, низким напряжениям и высокой термостабильности, по сравнению с традиционными подшипниками обеспечивают длительный срок службы. Твердый смазочный материал со сверхнизким давлением паров устраняет необходимость технического обслуживания и обеспечивает чистоту операций в любых рабочих условиях.
• Более того, в отличие от большинства других конструкций все турбонасосы компании Agilent имеют верхний и нижний подшипники со стороны форвакуума и не подвергаются воздействию сверхвысокого вакуума, еще больше снижая вероятность загрязнения даже в случае неправильного использования.
• Патентованный TwisTorr обеспечивает максимальную скорость и коэффициент сжатия, используя при этом рабочую площадку минимальной площади, кроме того, все турбонасосы компании Agilent могут монтироваться в любом положении – от вертикального до горизонтального, позволяя проектировать систему с учетом наиболее строгих требований к занимаемому ей пространству.
• Турбомолекулярные насосы компании Agilent могут работать при повышенном форвакуумном давлении, позволяя использовать безмасляные форвакуумные насосы, обеспечивая создание абсолютно чистой, не содержащей масла, компактной и экономичной системы для откачки вакуума.
• При необходимости откачки большого количества газа и обеспечения высокой пропускной способности следует использовать сочетание безмасляных насосов TwisTorr и TriScroll. Все турбонасосы компании Agilent имеют встроенный контроллер, что позволяет легко устанавливать его и проводить операции по откачке или использовать контроллер, устанавливаемый на стойку для приложений, в которых электронные блоки необходимо разместить дистанционно (т.e. при наличии радиоактивности).

• Такие современные системы сфокусированных пучков, как растровые электронные микроскопы, трансмиссионные электронные микроскопы и ФИП используют колонны, которые проецируют электроны или ионы на микроскопические образцы для их детального анализа. Конечные пользователи анализируют все типы веществ – от органических соединений до полупроводниковых пластин. В частности, в полупроводниковой промышленности для этого требуется более высокая чувствительность для повышения разрешения при анализе. Другим ключевым требованием является высокая пропускная способность исследования проб с целью снижения стоимости обслуживания этих приборов.
• Основываясь на этих требованиях, повышение производительности вакуумных насосов сегодня необходимо как никогда ранее. Компания Agilent предлагает полный спектр моделей насосов для высокого и сверхвысокого вакуума, специально предназначенных для выполнения строгих требований растровой и трансмиссионной спектроскопии и систем анализа поверхностей
• Турбомолекулярные насосы являются ключевыми компонентами современных систем сфокусированных пучков, поскольку такие системы обеспечивают быструю безмасляную откачку воздуха из крупногабаритных камер для проб (работа без применения масла является ключевым требованием таких современных аналитических систем, как системы, используемые в производстве полупроводников). Из полного спектра выпускаемых турбонасосов проектировщики систем со сфокусированными пучками могут выбрать насос нужной производительности и габаритов, который обеспечит наилучшее время откачки камеры при минимальной стоимости владения и позволит использовать его в ограниченном пространстве.
• Полная линейка турбонасосов с низким уровнем вибраций для наиболее чувствительной микроскопии. Кроме того, компания Agilent располагает полным спектром встраиваемых в насосы контроллеров, которые обеспечивают максимальную гибкость управления при ничтожно низком уровне генерации электромагнитных помех.

Компания Agilent предлагает широкий спектр турбонасосов, специально спроектированных для растровой электронной спектроскопии с производительностью 80, 300, 550, 700 и 1000 л/с.

Все конструкции турбонасосов Agilent для растровой электронной спектроскопии можно проверить в лаборатории компании. Кроме того, каждый турбонасос для растровой микроскопии проходит эксплуатационные испытания до отгрузки заказчику.

• Во многих отраслях промышленности – от покрытия стеклом до изготовления медицинского оборудования производители испытывают потребность в надежных вакуумных технологиях.
• Сосредоточившись на минимизации стоимости владения, компания Agilent продолжает выпускать инновационные вакуумные системы, которые повышают производительность, допускают изменение рабочих условий и упрощают обслуживание, помогая обеспечить максимальное время работоспособности и эффективность систем.
• Насосы Turbo-V, предназначенные для суровых промышленных условий работы, способны справиться с высокими газовыми нагрузками и могут быть быстро восстановлены после случайного попадания воздуха.
• Компания Agilent предлагает серию современных вакуумных насосов и систем для промышленного использования, включая насосы новой серии Turbo-V K-G со встроенными в корпус электронными схемами.

• Оборудование для нанесения стекловидного покрытия (декоративное стекло, автомобильное стекло, подложка панели дисплея)
• Изготовление тонких пленок солнечных элементов (фотогальваническое покрытие)
• Оптические носители данных (компакт-диски, DVD, магнитооптические диски)
• Магнитные носители данных (жесткие диски, считывающие головки)
• Обработка поверхностей с применением трибологических и износостойких покрытий
• Функциональные и декоративные покрытия, включая металлизацию
• Оптические покрытия (офтальмология, прецизионная оптоэлектроника)
• Системы нанесения покрытий валиком/на лету на пленку или фольгу
• Нанесение покрытия осаждением паров и другие процессы с применением плазмы, требующие высокой газовой нагрузки Обработка устройств
• Производство трубок для ТВ и мониторов
• Откачка баллонов ламп (освещение автомагистралей, видеопроекция)
• Рентгеновские трубки и электронные устройства
• Трубки медицинских ускорителей
• Лазеры

• Вакуумные печи/пайка
• Сварка электронным пучком