Контроллер Agilent MiniVac

Контроллер MiniVac – экономный вариант для использования упралвения магниторазрядными насосами серии VacIon Plus типа Diode, Noble Diode и StarCell и скоростью откачки от 20 до 500 л/сек. Очень компактный и легкий, также может быть вмонтирован в стойку Rack. Самые маленькие насосы VacIon Plus (от 0,4 до 8 л/сек) могут быть подключены при давлении ниже 1 x 10^-5 мбар (непрерывное колебание) Средние насосы VacIon Plus (от 20 до 75) могут быть подключены при давлении ниже 1 x 10^-5 мбар (непрерывное колебание) Большие насосы VacIon Plus (от 150 до 500) могут быть подключены при давлении ниже 2 x 10^-6 мбар (непрерывное колебание) Контроллер MiniVac специально разработаны для выдерживания непрерывного колебания при короткомзамыкании, без повреждений для магниторазрядного насоса или самого себя.

• Ускорители частиц и синхротронные источники света
  
  В этих установках электрически заряженные частицы (электроны для получения синхротронных источников света или ионы для ускорителей частиц) вынуждены следовать по криволинейной траектории в кольце, которое называют накопительным. Заряженные частицы в течение нескольких часов циркулируют в этом кольце при постоянной энергии в среде высокой степени вакуума. Прежде чем частицы попадут в накопительное кольцо, они должны получить ускорение внутри системы впрыска, состоящей из одного или двух ускорителей (линейного ускорителя и бустерного синхротрона). Все частицы, следующие вдоль своего пути в установке (электроны или ионы), должны циркулировать внутри вакуумной камеры. В противном случае они соударяются с молекулами воздуха и будут быстро поглощены.

• Линейный ускоритель
  
  Заряженные частицы попадают в первый высокочастотный резонатор, который ускоряет их и в то же время группирует в партии. Затем они ускоряются последовательностью высокочастотных резонаторов вдоль всей длины линейного ускорителя. Вакуум внутри линейного ускорителя может создаваться насосами VacIon Plus компании Agilent с производительностью от 20 до 70 л/с.

• Бустерный синхротрон
  
  Заряженные частицы, получившие ускорение в линейном ускорителе, получают дополнительное ускорение в бустерном синхротроне. Ускорение производится высокочастотными резонаторами, сквозь которые частицы проходят много раз, всякий раз приобретая дополнительную энергию. Достигая уровень максимальной энергии, пучок частиц переходит из бустерного синхротрона в накопительное кольцо. Вакуум в бустерном синхротроне обычно создается небольшими насосами. Насосы VacIon Plus компании Agilent прекрасно справляются с этой задачей.

• Накопительное кольцо
  
  Заряженные частицы циркулируют внутри накопительного кольца при постоянной энергии. При движении вдоль кольца частицы проходят изогнутые и прямые участки. Накопительное кольцо помещено внутри туннеля с толстыми бетонными стенами с целью удержания радиации в случае потери пучка.
  В этой части установки абсолютно необходим сверхвысокий вакуум, поскольку частицы перемещаются через накопительное кольцо в течение нескольких часов. Чем меньше остаточного газа, тем более сфокусированным остается пучок. Для этих целей используются крупногабаритные насосы VacIon Plus компании Agilent, имеющие производительность в диапазоне 300-500 л/с.

• Периферийное оборудование
  
  К периферийному оборудованию относится трубопровод, который транспортирует в вакууме частицы из зоны извлечения в канал синхротронного излучения вне туннеля кольца. Здесь находится прерыватель пучка, а также устройства, изолирующие вакуум кольца от синхротронного канала, который обычно находится при более низком давлении. В этой части установки, как и для накопительного кольца, можно использовать крупногабаритные насосы Agilent.

• Синхротронные каналы
  
  Экспериментальный зал, находящийся вокруг накопительного кольца, содержит синхротронные пучки, расположенные по касательной к кольцу. Эти пучки обычно используются в разных областях исследований (биология, полимеры и магнетизм) или в экспериментах (дифракция, мессбауэровская спектроскопия и формирование изображений). Некоторые наиболее длинные пучки формируются за пределами экспериментального зала. В этой части обычно используются крупногабаритные насосы производительностью от 300 до 500 л/с. Они могут сочетаться с титаново-сублимационными насосами и криопанелью для откачки даже самых легких молекул.

• Различные проекты
  
  Некоторые проекты в области фундаментальных исследований, в которых используется наиболее чувствительное оборудование (требующее сверхвысокого вакуума без механических колебаний), могут использовать насосы VacIon Plus компании Agilent. Новые детекторы гравитационных волн (ДГВ), такие как VIRGO в Италии и LIGO в США, используют насосы компании Agilent для получения и поддержания требуемого вакуума.

• Масс-спектрометрия
  
  Аналитические системы, которые используют сфокусированные пучки заряженных частиц (ПЗЧ) и определенные типы масс-спектрометров, такие как магнитный сектор или переход Фурье, часто требуют использования сверхвысокого вакуума.
  
  Эти приложения имеют очень строгие требования к рабочим характеристикам для обеспечения чувствительности, разрешения, пропускной способности образцов и воспроизводимости измерений. Подобные требования обусловлены необходимостью анализа все более мелких образцов, особенно полупроводников, при их изготовлении, а также в других высокотехнологичных приложениях.
  
  Обычно эти приложения требуют получения высокой степени откачки, только насосы VacIon могут удовлетворить требованиям к такому уровню чистоты, поскольку компания Agilent является единственным производителем ионных насосов, который выполняет операцию прогрева каждого насоса в вакуумной печи и поставляет каждый насос с данными о спектре остаточных газов.
  
  Компания Agilent предлагает модели насосов производительностью от 0,2 до 500 л/с, а также комбинированные насосы и насосы, изготавливаемые по требованиям заказчика, поэтому проектировщики аналитических систем могут рассчитывать на соблюдение всех условий в отношении качества вакуума, пользуясь услугами единственного поставщика.
  
  Более чем пятидесятилетний опыт изготовления ионных насосов компанией Agilent позволяет поставлять насосы, изготавливаемые по техническим требованиям для специальных приложений.

• Нанотехнологии
  
  Серия высокопроизводительных ионных насосов VacIon компании Agilent полностью удовлетворяет требованиям к вакууму трансмиссионных электронных микроскопов (TЭM), растровых электронных микроскопов, оборудованию с фокусированными ионными пучками и анализу элементов на поверхности.

• Компания Agilent является единственным производителем специализированных ионных насосов для РЭМ с уникальной конструкцией анода
  
  Диодные насосы РЭМ с очень низким током утечки идеально подходят для секции пушки колонны.
  
  Насосы StarCell, имеющие уникальную конструкцию, идеально подходят для работы при высоком давлении колонн. Насосы StarCell также наилучшим образом подходят для работы в среде инертных газов или водорода.
  
  Компания Agilent завершает предложения для производителей микроскопов полной серией контроллеров/модулей электропитания, включая недорогие источники питания и полнофункциональные контроллеры.
  
  Дополнительная серия турбонасосов без смазки, имеющих низкий уровень вибраций и идеально подходящих по требованиям к вакууму для камеры образцов, форвакуумных насосов и вакуумметров, позволяет компании Agilent осуществлять поставку всех вакуумных компонентов, необходимых для электронной микроскопии.
  
  Компания Carl Zeiss SMT — мировой лидер световых, электронных и ионно-оптических технологий для промышленности, научных исследований и опытно-конструкторских разработок - назначила компанию Agilent Technologies (отдел вакуумной продукции) партнером в цепи поставок компании Carl Zeiss SMT.