Криогенный вакуумный насос Leybold COOLVAC 800

Процесс высоковакуумной откачки с использованием криогенных средств откачки, основывается на значительной активизации процессов сорбции молекул различных газов (азот, водород, аргон, ксенон, водяной пар, гелий и другие) в условиях криогенных температур. принято применять криогенные вакуумные решения в диапазоне давлений от 10^-3 до 10^-11 мбар.

Из-за наличия у криогенных насосов предела по максимальному количеству сорбированного газа насосы не выгодно применять при высоких давления (выше 10^-3) - крио панели быстро насытятся(наморозят) газом, "обледенеют" и потеряют способность сорбировать газ. Параметр емкости криогенной панели является довольно важным, например, для COOLVAC 10000, DN 500, емкость по Ar/N2 равна 5500 бар·л).

Для того, чтобы получить высокий (либо сверхвысокий) вакуум, специальные холодные поверхности (они же криопанели)обязаны обладать криогенным уровнем температур. По системе охлаждения криогенные насосы подразделяются на рефрижераторные, испарительные и оснащенные резервуаром хладагента.

Рефрижераторные устройства от Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) характеризуются тем, что хладагент располагается в контуре, который в свою очередь объединяет криоголовку с компрессором.

• хорошие параметры откачки по всем газам;
• увеличенные показатели откачки по парам воды;
• достижение максимальных скоростей для входного высоковакуумного фланца определенных размеров;

• отсутствие высокоскоростных подвижных частей (в отличие от механических средств): безмасляный вакуум и высокая надежность;
• диапазон вакуума от 10^-3 до 10^-11 мбар;
• на процесс откачки не влияет наличие внешний вибрации.

• Оптимальные габаритные размеры для средств откачки выше 5000 л/с;
• периодичная работа устройств предварительной откачки: для создания предварительного разряжения, при регенерации;
• простота управления процессом откачки (различные варианты: панель CRYOVISION, программное обеспечение для ПК, интерфейсы, контакты для PLC;
• оптимальное высоковакуумное безмасляное решение для систем с большой производительностью (выше 20000 л/с).

Крионасос LeyboldGmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) охлаждается при помощи надежной двухступенчатой криоголовки, которая работает по действенному принципу авторства Гифорда/МакМахона.

1-ая ступень криогенной головки производит охлаждение криопанелей 5 и 6. В зависимости от разновидности насосного устройства, а также эксплуатационных условий может достигаться температурный уровень в диапазоне 45-80 К.

Криогенные панели производятся из меди. Данный материал обладает высокой теплопроводностью, благодаря чему оптимизируется процесс переноса тепла. Криопанели также обладают специальным отражающим покрытием, помогающим существенно снизить потери энергии.

2-аяступень криогенной головки участвует в охлаждении криопанели 8. Здесь максимальный температурный диапазон составляет 10-20 К.

Процесс конденсации протекает в насосном устройстве в условиях криогенных температур следующих газов: азот (N2), аргон (Ar2) и кислород (O2). Внутренние элементы из меди прилегают достаточно плотно к поверхности второй ступени, принадлежащей криогенной головке. Надлежащая откачка водорода (H2), гелия (He) и неона (Ne)тоже возможна, поскольку на охлаждаемых поверхностях имеется адсорбент.