Высокоскоростные емкостные мембранные датчики INFICON Stripe являются самыми быстрыми и высокоточными из доступных приборов для измерения вакуума. Время отклика менее 2 мс в сочетании с интерфейсом полевой шины EtherCAT открывает совершенно новую область применения. Проверенный терморегулируемый, устойчивый к коррозии, сверхчистый керамический датчик обеспечивает превосходную стабильность диапазона в течение многих лет в сочетании с современной нулевой стабильностью. Stripe поставляется с запатентованным INFICON уникальным сенсорным экраном, который защищает датчик от нежелательных побочных продуктов процесса. В INFICON Stripe используется инновационная концепция нагрева, обеспечивающая охлаждение сенсорной поверхности, а его уникальные скоростные возможности обеспечивают беспрецедентный рост производительности, что делает его самым передовым вакуумным прибором в своем роде.
Преимущества:
- Высокая производительность – время отклика более 2 мс;
- Гибкая интеграция – полевая шина EtherCAT;
- Керамический датчик, проверенный на длительный срок службы;
- Забудьте о повторной калибровке – полная стабильность шкалы 90 ppm/год.
Области применения:
- Осаждение атомного слоя;
- Высокоскоростное управление технологическим процессом;
- PVD, CVD, травление;
- Общие области применения при высоких температурах в вакууме.
|
Параметр |
Единица измерения |
Значение |
||
|
Тип |
1000 ... 500 Торр/мбар |
200 ... 1 Торр/мбар |
0,5... 0,1 Торр/мбар |
|
|
Точность (1) |
% показаний |
0.2 |
0.2 |
0.4 |
|
Температурный эффект |
||||
|
при нулевом |
процент FS/°C |
0.0025 |
0.0025 |
0.005 |
|
на расстоянии |
% показаний/°C |
0.02 |
0.02 |
0.02 |
|
Давление, макс. |
кПа (абсолютное значение) |
400 |
260 |
130 |
|
Разрешение |
процент FS |
0.003 |
0.003 |
0.003 |
|
Самый низкий показатель |
процент FS |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
|
Наименьшее рекомендуемое значение |
процент FS |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
|
Наименьшее рекомендуемое контрольное давление |
процент FS |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
|
Температура |
||||
|
Работа (окружающая среда) |
°C |
+10 … +50 |
||
|
Запекание на фланце |
°C |
≤110 |
||
|
Хранение |
°C |
–20 … +85 |
||
|
Напряжение питания |
+14... +30 В постоянного тока или ±15 В (±5%) |
|||
|
Потребляемая мощность |
||||
|
Во время нагрева |
Вт |
≤16 |
||
|
При рабочей температуре |
Вт |
≤11 |
||
|
Выходной сигнал (аналоговый) |
В (постоянный ток) |
0 … +10 |
||
|
Скорость измерения |
кГц |
1 |
||
|
Время отклика (2) |
мс |
2 ... 20 |
||
|
Время обработки сигнала |
мс |
2 |
||
|
Степень защиты |
IP 30 |
|||
|
Стандарты |
||||
|
Соответствие CE |
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS |
|||
|
Сертификация ETL |
UL 61010-1, CSA 22.2 № 61010‑1 |
|||
|
Соответствие требованиям |
SEMI S2 |
|||
|
Электрическое подключение |
D-sub, 15 полюсов, штекер |
|||
|
Заданное значение |
||||
|
Количество уставок |
2 (SP1, SP2) |
|||
|
Контакт реле |
В (постоянный ток) |
≤30 |
||
|
Гистерезис |
процент FS |
1 |
||
|
Диагностический порт |
||||
|
Протокол |
USB |
|||
|
Читать |
давление, статус, идентификатор |
|||
|
Набор |
уставки, фильтр, настройка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока |
|||
|
Материалы, подвергшиеся воздействию вакуума |
Керамика из оксида алюминия (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L) |
|||
|
Внутренний объем |
||||
|
I. объем трубки 1/2" |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
||
|
I. объем DN 16 ISO KF |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
||
|
I. объем DN 16 CF-R |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
||
|
I. объем 8 VCR® |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
||
|
Вес |
||||
|
Трубка 1/2" |
г |
837 |
||
|
DN 16 ISO KF |
г |
852 |
||
|
DN 16 CF-R |
г |
875 |
||
|
8 VCR® |
г |
897 |
||
|
EtherCAT |
||||
|
Протокол EtherCAT |
протокол, специализированный для EtherCAT |
|||
|
Стандарты связи |
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Общий профиль устройства ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Конкретный профиль устройства: вакуумметр |
|||
|
Адрес узла |
Явная идентификация устройства |
|||
|
Физический уровень |
100BASE-Tx (IEEE 802.3) |
|||
|
Цифровые функции считывают |
давление, статус, идентификатор |
|||
|
Набор цифровых функций |
уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс, смещение постоянного тока |
|||
|
Почтовый ящик (CoE) |
Запросы, ответы и информация SDO |
|||
|
Данные процесса |
Исправлено сопоставление PDO и настраиваемое сопоставление PDO |
|||
|
Разъем EtherCAT |
2 x RJ45, 8-контактный разъем (разъем), ВХОД и ВЫХОД |
|||
|
Кабель |
экранированный Ethernet CAT5e или выше |
|||
|
Длина кабеля |
м (фут) |
≤100 (330) |
||
|
Время обработки сигнала |
мс |
2 |
||
(1) Нелинейность, гистерезис, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25 °C без температурных эффектов после 2 часов работы.
(2) Увеличить на 10 ... 90% FS.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос