Высокоскоростные емкостные мембранные датчики INFICON Stripe являются самыми быстрыми и высокоточными из доступных приборов для измерения вакуума. Время отклика менее 2 мс в сочетании с интерфейсом полевой шины EtherCAT открывает совершенно новую область применения. Проверенный терморегулируемый, устойчивый к коррозии, сверхчистый керамический датчик обеспечивает превосходную стабильность пролета в течение многих лет в сочетании с современной нулевой стабильностью. Stripe поставляется с запатентованным уникальным сенсорным экраном INFICON, который защищает датчик от нежелательных побочных продуктов процесса. INFICON Stripe использует инновационную концепцию нагрева, которая обеспечивает охлаждение сенсорной поверхности, и его уникальные скоростные возможности, позволяющие беспрецедентно повысить производительность, что делает его самым передовым вакуумным прибором в своем роде.
Преимущества:
- Высокая производительность – время отклика более 2 мс (FS> 50 mTorr);
- Гибкая интеграция – полевая шина EtherCAT;
- Керамический датчик, проверенный на длительный срок службы;
- Забудьте о повторной калибровке – полная стабильность 90 ppm/год.
Области применения:
- Осаждение атомного слоя;
- Высокоскоростное управление технологическим процессом;
- PVD, CVD, травление;
- Общие области применения при высоких температурах в вакууме.
|
Параметр |
Единица измерения |
Значение |
|
|
Тип |
1000 торр / 1100 мбар ... 0,05 Торр/мбар |
0,02 ... 0,01 Торр/мбар |
|
|
Точность (1) |
% от прочтения |
0.15 |
- |
|
Точность |
% от прочтения |
- |
0.2 |
|
Температурный эффект |
|||
|
на нуле 1000... 1 Торр/мбар |
процент FS/°C |
0.0025 |
- |
|
при нулевом значении 0,5... 0,05 Торр/мбар |
процент FS/°C |
0.005 |
- |
|
на нуле 0,02 ... 0,01 Торр |
процент FS/°C |
- |
0.01 |
|
на расстоянии |
% показаний/°C |
0.01 |
0.01 |
|
Давление макс. |
|||
|
P max 1000 Торр/мбар |
кПа (абсолютное значение) |
400 |
|
|
P max 500 ... 1 Торр/мбар |
кПа (абсолютное значение) |
260 |
|
|
P max 0,5 ... 0,01 Торр/мбар |
кПа (абсолютное значение) |
130 |
|
|
Разрешение |
процент FS |
0.003 |
|
|
Самый низкий показатель |
процент FS |
0.01 |
|
|
Наименьшее рекомендуемое значение |
процент FS |
0.05 |
|
|
Наименьшее рекомендуемое контрольное давление |
процент FS |
0.5 |
|
|
Температура |
|||
|
Работа (окружающая среда) |
°C |
+10 … +40 |
|
|
Запекание на фланце |
°C |
≤110 |
|
|
Хранение |
°C |
–20 … +85 |
|
|
Напряжение питания |
+14 ... +30 В постоянного тока или ±15 В (±5%) |
||
|
Потребляемая мощность |
|||
|
Во время нагрева |
Вт |
≤14 |
|
|
При рабочей температуре |
Вт |
≤9 |
|
|
Выходной сигнал (аналоговый) |
В (постоянный ток) |
0 … +10 |
|
|
Скорость измерения |
кГц |
1 |
|
|
Время отклика (2) |
мс |
2 ... 20 |
|
|
Время обработки сигнала |
мс |
2 |
|
|
Степень защиты |
IP 30 |
||
|
Стандарты |
|||
|
Соответствие CE |
|
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS |
|
|
Сертификация ETL |
|
UL 61010-1, CSA 22.2 № 61010‑1 |
|
|
Соответствие требованиям |
|
SEMI S2 |
|
|
Электрическое подключение |
D-sub, 15 полюсов, штекер |
||
|
Заданное значение |
|||
|
Количество уставок |
|
2 (SP1,SP2) |
|
|
Контакт реле |
В (постоянный ток) |
≤30 |
|
|
Гистерезис |
процент FS |
1 |
|
|
Диагностический порт |
|||
|
Протокол |
|
USB |
|
|
Читать |
|
давление, статус, идентификатор |
|
|
Набор |
|
уставки, фильтр, настройка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока |
|
|
Материалы, подвергшиеся воздействию вакуума |
Керамика из оксида алюминия (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L) |
||
|
Внутренний объем |
|||
|
I. объем 1/2 "тюбик |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
I. объем DN 16 ISO KF |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
I. объем DN 16 CF-R |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
I. объем 8 VCR® |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
Вес |
|||
|
Трубка 1/2" |
г |
837 |
|
|
DN 16 ISO KF |
г |
852 |
|
|
DN 16 CF-R |
г |
875 |
|
|
8 VCR® |
г |
897 |
|
|
EtherCAT |
|||
|
Протокол EtherCAT |
|
протокол, специализированный для EtherCAT |
|
|
Стандарты связи |
|
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Общий профиль устройства ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Конкретный профиль устройства: вакуумметр |
|
|
Адрес узла |
|
Явная идентификация устройства |
|
|
Физический уровень |
|
100BASE-Tx (IEEE 802.3) |
|
|
Цифровые функции считывают |
|
давление, статус, идентификатор |
|
|
Набор цифровых функций |
|
уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс, смещение постоянного тока |
|
|
Почтовый ящик (CoE) |
|
Запросы, ответы и информация SDO |
|
|
Технологические данные |
|
Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO |
|
|
Соединитель EtherCAT |
|
2 x RJ45, 8-контактный разъем (разъем), ВХОД и ВЫХОД |
|
|
Кабель |
|
экранированный Ethernet CAT5e или выше |
|
|
Длина кабеля |
м (фут) |
≤100 (330) |
|
|
Время обработки сигнала |
мс |
2 |
|
(1) Нелинейность, гистерезис, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25 ° C без температурных эффектов после 2 часов работы.
(2) Увеличить на 10 ... 90 процентов FS.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос