Высокотемпературные манометры INFICON SKY CDG200D - ваш лучший выбор для точного измерения и контроля общего давления. Датчики CDG200D контролируются при температуре 200 ° C для обеспечения превосходной производительности в сложных полупроводниковых и плазменных процессах. Они доступны для полномасштабных диапазонов от 1 Торр до 1000 Торр, со всеми распространенными типами фланцев и интерфейсами полевой шины и обеспечивают линейный сигнал давления от 0 до 10 В, не зависящий от типа газа. В емкостных манометрах INFICON используется сверхчистая керамическая мембрана из оксида алюминия, устойчивая к коррозии. Преимущества керамического датчика заключаются в лучшей стабильности сигнала, более быстром восстановлении из атмосферы, коротком времени прогрева и исключительном сроке службы. INFICON CDG - это высококачественные, экономичные датчики давления для требовательных полупроводниковых, плазменных и вакуумных применений.
Преимущества:
- Более низкое CoO (стоимость владения), на 50% более быстрый прогрев, энергоэффективное низкое энергопотребление;
- Простая интеграция, широкий выбор полноразмерных шкал, фланцев и интерфейсов, стандартно с двумя уставками;
- Простая команда обнуления одним нажатием кнопки или дистанционным сигналом, регулировка смещения нуля;
- Диагностический порт для быстрого обслуживания и обслуживания;
- Двухлетняя гарантия, более длительный срок службы благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите датчика;
- Отсутствие длительной повторной калибровки благодаря превосходной стабильности и повторяемости сигнала даже в жестких условиях плазменной обработки;
- Соответствие и стандарты: CE, EN, UL, SEMI, RoHS.
Области применения:
- Травление, CVD, PVD и другие процессы производства полупроводников;
- Химические и коррозионные высокотемпературные процессы;
- Общие тонкопленочные и вакуумные процессы, требующие защиты датчика.
| Параметр | Единица измерения | Значение | |
|
Тип |
1000 ... 500 Торр/мбар |
200 ... 1 Торр/мбар |
|
|
Точность (1) |
% от прочтения |
0.4 |
0.4 |
|
Температурный эффект |
|||
|
На нуле |
процент FS/°C |
0.005 |
0.005 |
|
На промежутке |
% показаний/°C |
0.02 |
0.02 |
|
Давление, макс. |
кПа (абсолютное значение) |
400 |
260 |
|
Разрешение |
процент FS |
0.003 |
0.003 |
|
Самый низкий показатель |
процент FS |
0.01 |
0.01 |
|
Самое низкое рекомендуемое значение |
процент FS |
0.05 |
0.05 |
|
Наименьшее рекомендуемое контрольное давление |
процент FS |
0.5 |
0.5 |
|
Температура |
|||
|
Эксплуатация (окружающая среда) |
°C |
+10 … +50 |
- |
|
Выпечка на фланце |
°C |
≤200 |
|
|
Хранение |
°C |
–40 … +65 |
|
|
Напряжение питания |
+21... +30 В постоянного тока или ±15 В (±5%) |
||
|
Потребляемая мощность |
|||
|
Во время разогрева |
Вт |
≤25 |
|
|
При рабочей температуре |
Вт |
≤18 |
|
|
Выходной сигнал (аналоговый) |
В (постоянный ток) |
0 … +10 |
|
|
Время отклика (2) |
мс |
30 |
|
|
Степень защиты |
IP 40 |
||
|
Стандарты |
|||
|
Соответствие CE |
|
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS |
|
|
Сертификация ETL |
|
UL 61010-1, CSA 22.2 №61010‑1 |
|
|
Соответствие требованиям (4) |
|
SEMI S2 |
|
|
Электрическое подключение |
D-Sub, 15-контактный, штекер |
||
|
Заданное значение |
|||
|
Количество уставок |
|
2 (SP1, SP2) |
|
|
Контакт реле |
В (постоянный ток) |
≤30 |
|
|
Гистерезис |
процент FS |
1 |
|
|
Диагностический порт |
|||
|
Протокол |
|
RS232-C |
|
|
Читать |
|
Давление, статус, идентификатор |
|
|
Комплект |
|
Уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока |
|
|
Материалы, подвергнутые воздействию вакуума |
Керамика из оксида алюминия (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L (3)) |
||
|
Внутренний объем |
|||
|
I. объем 1/2"тюбик |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
I. объем DN 16 ISO KF |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
I. объем DN 16 CF-R |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
I. Видеомагнитофон объемом 8 |
см3 (дюйм3) |
4.2 (0.26) |
|
|
Вес |
|||
|
Вес трубки 1/2" |
г |
837 |
|
|
Вес DN 16 ISO KF |
г |
852 |
|
|
Вес DN 16 CF-R |
г |
875 |
|
|
Вес 8 VCR® |
г |
897 |
|
|
EtherCAT |
|||
|
Протокол EtherCAT |
|
Протокол, специализированный для EtherCAT |
|
|
Стандарты связи |
|
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Общий профиль устройства ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Конкретный профиль устройства: вакуумметр |
|
|
Адрес узла |
|
Явная идентификация устройства |
|
|
Физический уровень |
|
100BASE-Tx (IEEE 802.3) |
|
|
Цифровые функции считывают |
|
Давление, статус, идентификатор |
|
|
Набор цифровых функций |
|
Уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс, смещение постоянного тока |
|
|
Почтовый ящик (CoE) |
|
Запросы, ответы и информация SDO |
|
|
Технологические данные |
|
Фиксированное отображение PDO и настраиваемое отображение PDO |
|
|
Разъем EtherCAT |
|
2 x RJ45, 8-контактный разъем (разъем), вход и выход |
|
|
Кабель |
|
Экранированный Ethernet CAT5e или выше |
|
|
Длина кабеля |
м (фут) |
≤100 (330) |
|
|
Время обработки сигнала |
мс |
2 |
|
|
DeviceNet™ |
|||
|
Протокол |
|
DeviceNet™, только для подчиненных устройств группы 2 |
|
|
Скорость передачи данных |
кБауд |
125, 250, 500 с помощью коммутатора или сетевого программируемого |
|
|
Длина кабеля 125 кбит/с |
м (фут) |
500 (1650) |
|
|
Длина кабеля 250 кбит/с |
м (фут) |
250 (825) |
|
|
Длина кабеля 500 кбит/с |
м (фут) |
100 (330) |
|
|
Идентификатор MAC |
|
Адрес 00 - 63 с помощью коммутатора или сети программируемый |
|
|
Цифровые функции считывают |
|
Давление, статус, идентификатор |
|
|
Набор цифровых функций |
|
Уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока |
|
|
Технические характеристики |
|
DeviceNet™ "Профиль вакуумметрического устройства" (ODVA) |
|
|
Тип устройства |
|
Вакуумметр "VG" |
|
|
Передача подчиненных сообщений ввода-вывода |
|
Только опрос |
|
|
Напряжение питания для датчика на разъеме D-sub |
|
+14... +30 В постоянного тока или ±15 В / ≤12 Вт |
|
|
Напряжение питания приемопередатчика DeviceNet на разъем microstyle |
|
24 В ном / <2 Вт (11 ... 25 В) |
|
|
Разъем для DeviceNet™ |
|
Microstyle, 5-контактный, штекер |
|
|
Разъем для CDG (аналоговый выход, напряжение питания CDG, уставки) |
|
D-sub, 15-контактный, штекер |
|
|
Profibus DP |
|||
|
Скорость передачи данных в бодах |
кБауд |
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
|
|
Адрес |
|
Адрес 00 - 125 с помощью коммутатора или сети, программируемый |
|
|
Цифровые функции считывают |
|
Давление, статус, идентификатор |
|
|
Набор цифровых функций |
|
Уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока |
|
|
Разъем для Profibus DP |
|
D-sub, 9-контактный, штекер |
|
|
Разъем для CDG (аналоговый выход, напряжение питания, уставки) |
|
D-sub, 15-контактный, штекер |
|
|
Контур тока 4-20 мА (аналоговый) |
|||
|
Диапазон сигнала |
мА |
3.8 ... 20.2 |
|
|
Диапазон измерения (ноль ...FS) |
мА |
4.0 ... 20.0 |
|
|
Полное сопротивление нагрузки RL |
Ω |
типичный 500 Ом ± 1% 24±3 В (постоянного тока) (5) |
|
|
Абсолютное сопротивление нагрузки |
Ω |
309... 657 Ом при 24 В (постоянного тока) (5) |
|
(1) Нелинейность, гистерезис, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25 °C без температурных эффектов после 2 часов работы.
(2) Увеличить на 10... 90% FS.
(3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe.
(4) Температура окружающей среды > 40 °C может привести к повышению температуры поверхности выше уровня соответствия SEMI S2.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос