Инвертированные магнетронные датчики Пирани INFICON, MPG400 и MPG401, измеряют от 5 x 10-9 мбар до атмосферы (3,8 x 10-9 Торр до атмосферы). Объединение технологий в одном компактном устройстве с одним логарифмическим аналоговым выходным сигналом значительно снижает сложность установки, настройки и интеграции.
Преимущества:
- Комбинированный датчик – Инвертированный магнетрон и Пирани;
- Широкий диапазон измерений от 5 x 10-9 мбар до атмосферы;
- Нет выгорания нити накала;
- Отличные свойства воспламенения;
- Легко моется;
- FPM или проходной канал с металлическим уплотнением;
- Светодиодный индикатор включения высокого напряжения;
- Логарифмический аналоговый выходной сигнал.
Области применения:
- Мониторинг давления высокого вакуума;
- Базовое давление для систем испарения и распыления;
- Общее измерение и контроль вакуума в диапазоне среднего и высокого вакуума.
|
Параметр |
Единица измерения |
Значение |
|
Модель |
MPG401 metal-sealed |
|
|
Диапазон измерений (воздух, N2) |
мбар |
5 x 10-9 ... 1000 |
|
Точность (N2) |
||
|
1 x 10-8 ... 100 мбар |
% от прочитанного |
≈±30% |
|
Повторяемость |
||
|
1 x 10-8 ... 100 мбар |
% от прочитанного |
≈±5% |
|
Ориентация установки |
любой |
|
|
Допустимое давление |
бар (абсолютный) |
≤10 (ограничивается инертными газами) |
|
Допустимая температура |
||
|
Работа (окружающая среда) |
°C |
+5 … +55 |
|
Хранение |
°C |
–40 … +65 |
|
Выпечка (1) |
°C |
150 |
|
Температура нити накала (Pirani) |
°C |
120 |
|
Напряжение питания |
||
|
На уровне |
В (постоянный ток) |
+15 … +30 |
|
В блоке питания с макс. длиной кабеля (2) |
В (постоянный ток) |
+16 … +30 |
|
Пульсация |
В (p-p) |
≤1 |
|
Потребляемая мощность |
Вт |
≤2 |
|
Необходимо подключить предохранитель |
AT |
≤1 |
|
Выходной сигнал (сигнал измерения) |
||
|
Диапазон напряжений |
В |
0 … +10.5 |
|
Диапазон измерений |
В |
+1.82 … +8.6 |
|
Напряжение против давления |
логарифмический, 0,6 вольт на декаду |
|
|
Сигнал ошибки |
||
|
Нет поставок |
В |
<0.5 |
|
Датчик Пирани, разрыв нити накала |
В |
>9.5 |
|
Выходное сопротивление |
Ω |
2 x 10 |
|
Минимальное сопротивление нагрузки |
kΩ |
10, защита от короткого замыкания |
|
Время отклика |
||
|
p> 10-6 мбар |
мс |
<10 |
|
p = 10-8 мбар |
мс |
≈1000 |
|
Идентификационный датчик |
85, подключен к общему источнику питания |
|
|
Общие характеристики |
||
|
Режим только для Пирани |
В |
0 (низкий) |
|
Комбинированный режим Пирани/холодный катод |
В |
15 ... 30 (высокий) |
|
LED |
LED зеленого цвета |
высокое напряжение включено |
|
Электрическое подключение |
разъем для прибора FCC 68, 8 полюсов, женский |
|
|
Кабель датчика |
8 полюсов плюс экранирование |
|
|
Длина кабеля |
м |
≤50 (8 x 0,14 мм2) |
|
Рабочее напряжение |
кВ |
≤3.3 |
|
Рабочий ток |
мкА |
≤500 |
|
Материалы, подвергнутые воздействию вакуума |
нержавеющая сталь, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W |
|
|
Внутренний объем |
см3 |
≈20 |
|
Вес |
||
|
DN 25 ISO-KF |
г |
≈730 |
|
DN 40 ISO-KF |
г |
≈750 |
|
DN 40 CF-F |
г |
≈1010 |
| Категория защиты и соответствие CE | ||
|
Категория защиты |
IP 40 |
|
|
Соответствие CE |
|
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |
(1) Без электроники и магнитного экранирования.
(2) Минимальное напряжение блока питания должно быть увеличено пропорционально длине кабеля датчика.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос