Инвертированный магнетронный вакуумметр - это рабочая лошадка для всех применений измерения вакуума. В то время как Gemini MPG50x объединяет две системы датчиков в одном небольшом устройстве для измерения от атмосферного давления до 1x10-9 мбар, Gemini MAG50x представляет собой систему датчиков с чистым холодным катодом (без элемента Пирани), которая охватывает диапазон от 1x10-2 мбар до 1x10-9 мбар. Запатентованная конструкция с ультранизким магнитным полем рассеяния открывает совершенно новый диапазон применений. Уникальный сменный двухкамерный датчик позволяет избежать циклов очистки и сократить расходы на техническое обслуживание, что делает Gemini самым надежным и экономичным вакуумметром в своем роде.
Gemini с холодным катодом и комбинированный поставляется с полностью интегрированной цифровой электроникой, обеспечивая максимальную гибкость для системной интеграции. Комбинированная версия с холодным катодом и Pirani (MPG) обеспечивает плавный переход, надежность, практичность и гибкость в широком диапазоне применений.
MAG и MPG Gemini теперь доступны с полевой шиной EtherCAT и уставками как MAG55x и MPG55x.
Для агрессивных сред мы предлагаем использовать версию MxG5x 4 с керамическим покрытием. Проходной канал и отверстия внутри головки датчика полностью покрыты керамикой для повышения коррозионной стойкости.
Датчики с холодным катодом и комбинированные датчики Gemini™ оснащены полностью интегрированной цифровой электроникой, что обеспечивает максимальную гибкость при интеграции системы.
Как датчик с холодным катодом, так и комбинированный датчик Pirani обеспечивают плавный переход, надежность, оперативность и гибкость в широком диапазоне применений.
Преимущества:
- Длительный срок службы в суровых условиях;
- Слабое магнитное рассеянное поле;
- Надежное быстрое зажигание;
- Самое быстрое техническое обслуживание - сменная вставка;
- Компактный размер - простота интеграции;
- Защищенный от коррозии проходной и чувствительный элемент;
- Выбираемый измерительный ток;
- 2 уставки реле (в сочетании с версией MxG55x EtherCAT);
- Цифровой интерфейс EtherCAT и RS232/ RS485.
Области применения:
- Контроль и регулирование базового давления, от атмосферного до высокого вакуума при нанесении покрытий методом испарения и распыления;
- Общее измерение вакуума – промышленные печи, архитектурное стекло, полупроводники, Холодильные установки / кондиционеры и производственные лаборатории;
- Аналитические и научно–исследовательские приложения - масс-спектрометрия, электронные микроскопы, офтальмология, оптика, медицина и физика высоких энергий.
|
Параметр |
Единица измерения |
Значение |
|
Тип |
MPG5xx |
|
|
Измерительная система |
Система измерения ионизации с холодным катодом (по принципу перевернутого магнетрона) |
|
|
Диапазон измерения (воздух, N2) |
мбар |
1×10-9 … 1000 |
| Точность (N2) | ||
|
1×10-8 ... 1×10-2 мбар |
% от прочитанного |
30 |
|
1×10-2 ... 100 мбар |
% от прочитанного |
30 |
|
100 ... 1000 мбар |
% от прочитанного |
50 |
| Повторяемость (N2) | ||
|
1×10-8 ... 1×10-2 мбар |
% от прочитанного |
5 |
|
1×10-8 ... 100 мбар |
% от прочитанного |
- |
|
Ориентация установки |
любая |
|
|
Допустимое давление |
бар (абсолютный) |
10 (ограничивается инертными газами <55 °C) |
| Допустимая температура | ||
|
Работа (окружающая среда) |
°C |
+5 ... +55 |
|
Выпечка на фланце (1) |
°C |
<150 |
|
Хранение |
°C |
-40 ... +70 |
|
Температура нити накала |
°C |
120 |
| Относительная влажность воздуха в течение 30 дней в году | ||
|
1×10-7 ... 1×10-2 мбар |
% |
<95 (без конденсации) |
|
1×10-8 ... 1×10-2 мбар |
% |
<70 (без конденсации) |
| Напряжение питания | ||
|
При измерении (2) |
В (постоянный ток) |
+14.5 ... +30 |
|
Пульсация |
В (p-p) |
<1 |
|
Потребляемая мощность |
Вт |
<2 |
|
Необходимо подключить предохранитель |
В |
<1 |
| Диапазон напряжений | ||
|
Аналоговый выход |
В |
0 ... +10.5 |
| Диапазон измерений | ||
|
3MAx-xxx-xxxN |
В |
+1.5 ... +8.5 |
|
3MBx-xxx-xxxP |
В |
- |
|
3MAx-xxx-xxxQ |
В |
+0.667 ... +10 |
| Зависимость напряжения от давления | ||
|
3MAx-xxx-xxxN |
вольт за десятилетие |
1 (логарифмический) |
|
3MBx-xxx-xxxP |
вольт за десятилетие |
- |
|
3MAx-xxx-xxxQ |
вольт за десятилетие |
1.33 (логарифмический) |
| Сигнал ошибки | ||
|
3MAx-xxx-xxxN |
В |
<+0.5 |
|
3MA-xxx-xxxQ |
В |
<+0.3 |
|
3MBx-xxx-xxxP |
В |
- |
| Выходное сопротивление | ||
|
Выходное сопротивление |
Ω |
2 x 4,7 (защита от короткого замыкания) |
|
Сопротивление нагрузки |
kΩ |
> 10 (защита от короткого замыкания) |
| Время срабатывания ступени (зависит от давления) | ||
|
p> 1 x 10-6 мбар |
мс |
<100 |
|
p = 1x10-6...1x10-8 мбар |
с |
~1 |
| Идентификация датчика (датчики разъема FCC) | ||
|
3MAx-0xx-000N |
kΩ |
- |
|
3MAx-0xx-000Q |
kΩ |
100 |
|
3 МБХ-0хх-000Р |
kΩ |
- |
| Сигнал состояния, цифровой выход (разъем FCC) | ||
|
Текущий рейтинг |
мА |
100 |
|
Высокое напряжение ВКЛ. |
В (постоянный ток) |
+14.5 ... +30 (в зависимости от напряжения питания) |
|
Высокое напряжение ВЫКЛ. |
В (постоянный ток) |
0 |
| Сигнал состояния, цифровой выход (разъем D-sub) | ||
|
Напряжение питания |
В (постоянный ток) |
<30 |
|
Текущий рейтинг |
мА |
100 (раковина) |
|
Высокое напряжение ВКЛ. |
В (постоянный ток) |
0 |
|
Высокое напряжение ВЫКЛ. |
открыть |
|
| Электрическое подключение | ||
|
3Mxx-0xx-000x |
|
FCC68, 8-контактный, розетка |
|
3Mxx-0xx-010x |
|
D-sub, 9-контактный разъем, штекер |
|
3Mxx-0xx-04xx |
|
D-Sub HD, 15-контактный разъем, штекер (для версии RS232/485) |
|
3Mxx-xxx-x2Gx |
|
D-Sub HD, 15-контактный разъем, штекер (для версии EtherCAT) |
| Кабель датчика | ||
|
3Mxx-0xx-000x |
|
8-контактный, экранированный |
|
3Mxx-0xx-010x |
|
9-контактный, экранированный |
|
3Mxx-0xx-04xx |
|
15-контактный, экранированный (для версии RS232/485) |
|
3Mxx-xxx-x2Gx |
|
15-контактный, экранированный (для версии EtherCAT) |
| Длина кабеля | ||
|
Соединительный кабель FCC |
м |
<50 (0,14 мм2/ проводник) |
| Высокое напряжение (в измерительной камере) | ||
|
Напряжение зажигания |
кВ |
<4.5 |
|
Рабочее напряжение |
кВ |
<3.3 |
| Ток (в измерительной камере) | ||
|
Высокий ток |
мкА |
<380 |
|
Низкий ток |
мкА |
<130 |
| Реле уставки (MxG55x) | ||
|
Диапазон (N2) |
мбар бар |
5x10-5 ... 1500 |
|
Контакт реле |
|
нормально открытый (НЕТ), без потенциала |
|
Гистерезис |
% от порогового значения |
10 |
|
Номинальный контакт механических реле |
В/А |
<30/ <1 |
|
Время переключения |
мс |
<30 |
| Материалы, подвергнутые воздействию вакуума | ||
|
3Mx0-xxx-xxxx |
|
Сплавы Ni, Mo, AI2O3, стекло, нержавеющая сталь |
|
3Mx3-xxx-xxxx |
|
Mo, AI2O3, нержавеющая сталь |
|
3Mx0-11x-xxxx |
|
Сплав Ni, Mo, Al2О3, стекло, Ti, нержавеющая сталь |
|
3Mx3-11x-xxxx |
|
Mo, Al2О3, Ti, нержавеющие стали |
| Внутренний объем | ||
|
DN 25 ISO-KF |
см3 |
~19.9 |
|
DN 40 ISO-KF |
см3 |
~20.9 |
|
DN 40 CF-F |
см3 |
~25.2 |
|
DN 40 CF-R |
см3 |
~25.6 |
|
Внутренний объем |
см3 |
22.8 |
| Вес (MxG50x) | ||
|
DN 25 ISO-KF |
г |
<280 |
|
DN 40 ISO-KF |
г |
<320 |
|
DN 40 CF-F и CF-R |
г |
<570 |
| Вес (MxG55x) | ||
|
DN 25 ISO-KF |
г |
<500 |
|
DN 40 ISO-KF |
г |
<320 |
|
DN 40 CF-F и CF-R |
г |
<780 |
| Степень защиты | ||
|
Степень защиты |
IP 40 |
|
|
RoHS |
|
2011/65/ЕС |
|
ЭМС |
|
2014/30/EU, EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61326-1 |
|
Безопасность |
|
EN 61010-1 |
| RS232C/485C (MxG50x) | ||
|
Скорость передачи данных в бодах |
Кбод |
9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6 |
|
Адрес |
|
2 переключателя (адрес 00 - 255) |
|
Цифровые функции |
|
Считайте давление, выбирайте единицы измерения: Торр, мбар, Па, микрон, отсчеты. Контролируйте состояние датчика, подробную информацию о тревогах и предупреждениях, безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки. |
|
Разъем для RS232 и RS485 |
|
D-Sub HD, 15-контактный разъем, штекер |
| EtherCAT® (MxG55x) | ||
|
Протокол |
EtherCAT® |
|
|
Стандарт связи |
|
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 |
|
Адрес узла |
|
Явная идентификация устройства |
|
Физический уровень |
|
100Base-Tx (IEEE 802.3) |
|
Цифровые функции |
|
Считайте давление, выберите единицы измерения: Торр, мбар, Па, микрон, отсчеты. Контролируйте состояние датчика, подробную информацию о тревогах и предупреждениях, безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки. |
|
Соединитель EtherCAT |
|
2 x RJ45, 8-контактный разъем (разъем), вход и выход |
|
Кабель EtherCAT |
|
Специальный соединительный кабель Ethernet или перекрестный кабель, экранированный (качество CAT5e или выше) |
|
Длина кабеля |
м (фут) |
<100 (330) |
(1) Без электроники.
(2) Минимальное напряжение блока питания должно быть увеличено пропорционально длине кабеля датчика.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос