Комбинированный датчик INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG402-S, функционирует как два датчика в одном компактном устройстве, измеряющем давление от 5 × 10-10 мбар до атмосферы (3,8×10-10 Торр до атмосферы). Объединение технологий снижает сложность установки, настройки и интеграции. Выберите BPG402-S с двумя иридиевыми нитями, покрытыми оксидом иттрия, для доступных и воспроизводимых измерений базового давления в одном экономичном корпусе. Чувствительные элементы со встроенными данными калибровки гарантируют высокую воспроизводимость при замене датчиков.
Преимущества:
- Прямая замена для ITR серии 200;
- Чрезвычайно широкий диапазон измерений от 5 × 10-10 мбар до атмосферы (3,8 × 10-10 Торр до атмосферы);
- Превосходная повторяемость в диапазоне технологических давлений от 10-8 ... 10-2 мбар до 5%;
- Блокировка Pirani защищает нить накала от преждевременного перегорания;
- Две иридиевые нити с длительным сроком службы, покрытые оксидом иттрия;
- Доступны дополнительные интерфейсы графического дисплея и полевой шины;
- Автоматическая регулировка Пирани высокого вакуума снижает вмешательство оператора;
- Простая замена чувствительного элемента с помощью встроенных данных калибровки гарантирует высокую воспроизводимость;
- Соответствие требованиям RoHS.
Области применения:
- Измерение давления в полупроводниковых технологических и передаточных камерах;
- Промышленное покрытие;
- Общее измерение и контроль вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума.
|
Параметр |
Единица измерения |
Значение |
|
Модель |
BPG402-S |
|
|
Диапазон измерения (воздух, O2, CO, N2) |
мбар |
5×10-10 … 1000 |
|
Точность |
||
|
10-8 ... 10-2 мбар |
% от показаний |
±15 |
|
Повторяемость |
||
|
10-8 ... 10-2 мбар |
% от показаний |
5 |
|
Дегазация (1) |
||
|
p <7,2 × 10-6 |
мбар |
электронная бомбардировка, макс. 3 мин |
|
Давление, макс. |
бар (абсолютный) |
2 |
|
Температура |
||
|
Эксплуатация (окружающая среда) |
°C |
0 … +50 |
|
Хранение |
°C |
-20 … +70 |
|
Запекание на фланце без электроники BPG402-S |
°C |
80 |
|
Запекание на фланце без электроники BPG402-SL |
°C |
150 |
|
Напряжение питания |
В (постоянный ток) |
+20 … +28 |
|
Аналоговый выходной сигнал |
||
|
Выходной сигнал |
В |
0 … +10 |
|
Диапазон измерений |
В |
+0.774 … +10 |
|
Зависимость напряжения от давления |
вольт за десятилетие |
0.75 |
|
Сигнал ошибки |
В |
0.1 / 0.3 / 0.5 |
|
Сопротивление нагрузки, мин. |
kΩ |
10 |
|
Реле уставки |
||
|
Количество уставок |
Количество уставок |
1 |
|
Диапазон |
мбар |
1×10-9 … 100 |
|
Контакт реле |
Контакт реле |
n.o., без потенциала |
|
Гистерезис |
% от показаний |
10 |
|
Номинальный контакт |
В (постоянный ток) |
≤30 |
|
Цифровые функции |
дегазация |
|
|
Интерфейс (цифровой) (2) |
RS232C |
|
|
Контроль выбросов |
автоматический / ручной через интерфейс |
|
|
Нить накаливания |
два Ir-излучения с покрытием Yt2O3 |
|
|
Состояние нити накала / реле |
LED / реле |
|
|
Электрическое подключение |
D-Sub, 15-контактный, штекерный |
|
|
Длина кабеля, макс. (3) |
м (фут) |
100 (330) |
|
Материалы, подвергшиеся воздействию вакуума |
Yt2О3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, нержавеющая сталь, стекло |
|
|
Внутренний объем KF / CF |
см3 (дюйм3) |
24 (1.46) / 34 (2.1) |
|
Вес, кг/ куб. |
г |
450 / 710 |
|
Степень защиты |
IP30 |
|
|
Profibus DP |
||
|
Скорость передачи данных в бодах |
Кбод |
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
|
Адрес |
Адрес |
2 переключателя (адрес 00 - 127) или сетевой программируемый |
|
Цифровые функции |
Цифровые функции |
считывание давления, выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па; контроль выбросов, функция дегазации, мониторинг состояния датчика, состояние нити накала, безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки, подробную информацию о тревоге и предупреждении |
|
Аналоговые функции |
Аналоговые функции |
Аналоговая индикация давления на выходе 0... 10 В, два реле уставки A + B |
|
Реле уставки: количество уставок |
Реле уставки: количество уставок |
2 |
|
Реле уставки: диапазон |
мбар |
1×10-9 … 100 |
|
Реле уставки: контакт реле |
Реле уставки: контакт реле |
n.o., без потенциала |
|
Реле уставки: гистерезис |
% от показаний |
10 |
|
Реле уставки: номинальный контакт |
В (постоянный ток) |
≤30 |
|
Разъем для Profibus DP |
Разъем для Profibus DP |
D-Sub, 9-контактный, розетка |
|
Разъем для CDG (аналоговый выход, напряжение питания, уставки) |
Разъем для CDG (аналоговый выход, напряжение питания, уставки) |
D-Sub, 15-контактный, штекерный |
|
DeviceNet™ |
||
|
Протокол |
Протокол |
DeviceNet™, только для подчиненных устройств группы 2 |
|
Переключатель скорости передачи данных |
Кбод |
125, 250, 500 или программируемый по сети |
|
Длина кабеля 125 Кбит/с |
м (фут) |
500 (1650) |
|
Длина кабеля 250 Кбит/с |
м (фут) |
250 (825) |
|
Длина кабеля 500 Кбит/с |
м (фут) |
100 (330) |
|
MAC ID |
|
2 переключателя (адрес 00-63) или сетевой программируемый |
|
Цифровые функции |
|
считывание давления, выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па; контроль выбросов, функция дегазации, мониторинг состояния датчика, состояние нити накала, безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки, подробную информацию о тревоге и предупреждении |
|
Аналоговые функции |
|
Аналоговая индикация давления на выходе 0 ... 10 В, два реле уставки A + B |
|
Спецификация |
|
DeviceNet ™ "Профиль устройства вакуумметра" |
|
Тип устройства |
|
"CG" для комбинированного датчика |
|
Передача подчиненных сообщений ввода-вывода |
|
только опрос |
|
Реле уставки: Количество уставок |
|
2 |
|
Реле уставки: диапазон |
мбар |
1×10-9 … 100 |
|
Реле уставки: контакт реле |
|
n.o., без потенциала |
|
Реле уставки: гистерезис |
% от показаний |
10 |
|
Реле уставки: номинальный контакт |
В (постоянный ток) |
≤30 |
|
Напряжение питания для DeviceNet ™ |
В (постоянный ток) |
+11 … +25 |
|
Напряжение питания для датчика |
В (постоянный ток) |
+20 … +28 |
|
Разъем для DeviceNet™ |
|
Микростиль, 5-контактный |
|
Разъем для BPG (аналоговый выход, напряжение питания, уставки) |
|
D-Sub, 15-контактный, штекерный |
|
EtherCAT |
||
|
Протокол EtherCAT |
протокол, специализированный для EtherCAT |
|
|
Стандарты связи |
|
ETG.5003 Часть 1 "Профиль полупроводникового устройства" ETG.5003 Часть 2080 "Профиль конкретного устройства: вакуумный манометр" |
|
Адрес узла |
|
Явная идентификация устройства |
|
Физический уровень |
|
100BASE-Tx (IEEE 802.3) |
|
Цифровые функции EtherCAT |
|
считывание давления, выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па контроль выбросов, функция дегазации мониторинг состояния датчика, состояние нити накала безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки подробная информация о тревоге и предупреждении |
|
Данные процесса |
|
Фиксированное отображение PDO и настраиваемое отображение PDO |
|
Почтовый ящик (CoE) |
|
Запросы, ответы и информация SDO |
|
Разъем EtherCAT |
|
RJ45, 8-контактный (разъем), ВХОД и ВЫХОД |
|
Кабель |
|
экранированный Ethernet CAT5e или выше |
|
Длина кабеля |
м (фут) |
≤100 (330) |
(1) Пониженная точность при дегазации.
(2) Одновременное использование контроллеров серии RS232C или VGC40x и полевой шины не допускается.
(3) Для работы RS232C <30 м.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос