Насос вакуумный сухой Edwards GX100N

Вакуумный насос Edwards GX Dry устанавливает новые стандарты нулевого технического обслуживания между капитальными ремонтами. Повышенная эффективность снижает стоимость владения и обеспечивает непрерывную перекачку во всем диапазоне давлений. Сухие насосы GX имеют подключение по Ethernet, позволяющее просматривать ключевые данные через веб-страницы, а также полный набор сетевых опций для обеспечения непрерывной работы насоса.

Насосы GX доступны в широком диапазоне пиковых скоростей и вариантов для решения задач от чистых до среднетоннажных процессов. Модульная конструкция позволяет пользователям настраивать сухие насосы GX в соответствии с индивидуальными требованиями производителя. Сверхкомпактные размеры позволяют устанавливать его как на инструмент, так и в непосредственной близости или удаленно.

Два варианта исполнения:

• GX100N 200-230 В 50/60 Гц;
• GX100N 380-450 В 50/60 Гц.

Преимущества:

• GX оснащен клапаном для подачи воды с постоянным потоком;
• Предназначен для повышения энергоэффективности;
• Высокопроизводительные двигатели и инверторные приводы;
• Низкое энергопотребление при эксплуатации;
• Режим ожидания с пониженным энергопотреблением с помощью активного управления энергопотреблением (AUC);
• Разбавление азота может быть настроено в соответствии с требованиями применения;
• Минимизирует расход газа;
• Высокоэффективное охлаждение;
• Материалы с высокой проводимостью и хорошая конструкция обеспечивают низкий расход воды;
• Прецизионные керамические подшипники;
• Очень высокая грузоподъемность для надежности;
• Низкий уровень шума и вибрации;
• Подключение по Ethernet.

• Рабочее состояние;
• Основные параметры;
• Уставки параметров;
• Сводка предупреждений.

Особенности:

• Снижение стоимости владения;
• Снижение затрат на коммунальные услуги до 50% по сравнению с сухими насосами iL/iH;
• Без профилактического обслуживания;
• Гибкие варианты установки;
• Небольшой и легкий для легкой установки;
• На инструменте, в непосредственной близости или на расстоянии;
• Возможные улучшения производительности инструмента;
• Один из самых быстрых доступных насосов с блокировкой нагрузки;
• Стабильная производительность перекачки по всему миру;
• Одинаковая скорость откачки при 50 и 60 Гц;
• Снижение уровня окружающего шума;
• Всего 55 дБ (А);
• Широкий диапазон максимальной скорости;
• 100, 300, 600 и 800 м³/ч^-1.

• Блокировка нагрузки;
• Перекачка;
• Метрология;
• Литография;
• Процесс PVD;
• Предварительная очистка PVD;
• RTA;
• Промывка/промывка;
• Оксидное травление;
• Травление металла;
• Источник имплантации.