Серия сухих вакуумных насосов iGX устанавливает новые стандарты для нулевого обслуживания между капитальными ремонтами. Повышенная эффективность снижает стоимость владения и обеспечивает непрерывный режим перекачки во всем диапазоне давлений.
Сухие насосы iGX имеют подключение по Ethernet, позволяющее просматривать ключевые данные через веб-страницы, а также полный набор сетевых опций для обеспечения непрерывной работы насоса.
Насосы iGX доступны в широком диапазоне пиковых скоростей и вариантов для решения задач от чистых до среднетоннажных процессов. Модульная конструкция позволяет пользователям настраивать сухие насосы iGX в соответствии с индивидуальными требованиями производителя. Сверхкомпактные размеры позволяют устанавливать его как на инструмент, так и в непосредственной близости или удаленно.
Варианты "MTI" насоса iGX являются системными и не имеют встроенного EMO. Эти насосы также имеют межступенчатый порт.
Технология:
- iGX оснащен водяным клапаном с постоянным потоком;
- Предназначен для повышения энергоэффективности;
- Высокопроизводительные двигатели и инверторные приводы;
- Низкое энергопотребление при эксплуатации;
- Режим ожидания с пониженным энергопотреблением с помощью активного управления энергопотреблением (AUC);
- Разбавление азота может быть настроено в соответствии с требованиями применения;
- Минимизирует потребление газа;
- Высокоэффективное охлаждение;
- Материалы с высокой проводимостью и хорошая конструкция обеспечивают низкий расход воды;
- Прецизионные керамические подшипники;
- Очень высокая грузоподъемность для надежности;
- Низкий уровень шума и вибрации;
- Подключение по Ethernet.
Серия iGX включает в себя уникальную функциональность веб-сервиса, которая позволяет просматривать ключевые параметры через простое подключение к Ethernet и браузер. Любой пользователь может просто подключиться к насосу для просмотра ряда сведений, таких как:
- Рабочее состояние;
- Основные параметры;
- Уставки параметров;
- Сводка предупреждений.
- Снижение стоимости владения;
- Снижение затрат на коммунальные услуги до 50% по сравнению с сухими насосами iL/iH;
- Отсутствие профилактического обслуживания;
- Гибкие варианты установки;
- Маленький и легкий для легкой установки;
- На инструменте, в непосредственной близости или на расстоянии;
- Возможные улучшения производительности инструмента;
- Один из самых быстрых доступных насосов с блокировкой нагрузки;
- Стабильная производительность перекачки по всему миру;
- Скорость откачки одинакова при 50 и 60 Гц;
- Уменьшенный окружающий шум;
- Всего 55 дБ (А);
- Широкий диапазон пиковой скорости;
- 100, 300, 600 и 800 м3/ч-1.
- Блокировка нагрузки;
- Передача;
- Метрология;
- Литография;
- Процесс PVD;
- Предварительная очистка PVD;
- RTA;
- Прокладка/промывка;
- Оксидное травление;
- Травление кремния;
- Травление металла;
- Источник имплантата.
Параметр | Значение |
Пиковая скорость |
105 м3/ч-1 |
62 cfm |
|
1750 л/мин-1 |
|
Предельное давление |
5,00E-03 мбар |
3,75 E-03 Торр |
|
0,50 Па |
|
Мощность при выхлопе 700 Торр |
Максимум: 1 кВт |
Впуск воды* |
1 slm |
Азот |
4 или 14 slm |
Занимаемая площадь без учета выхлопных газов |
0,20 м2 |
Вес |
120 кг |
Входное соединение |
ISO63 |
Выходное соединение |
NW25 |
Максимальный уровень шума |
< 55 дБ (А) |
* Требуется дополнительный клапан постоянного расхода.
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Банковские карты
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.