Насос вакуумный сухой Edwards iGX600N

Серия сухих вакуумных насосов iGX устанавливает новые стандарты для нулевого обслуживания между капитальными ремонтами. Повышенная эффективность снижает стоимость владения и обеспечивает непрерывный режим перекачки во всем диапазоне давлений. Сухие насосы iGX имеют подключение по Ethernet, позволяющее просматривать ключевые данные через веб-страницы, а также полный набор сетевых опций для обеспечения непрерывной работы насоса. Насосы iGX доступны в широком диапазоне пиковых скоростей и вариантов для решения задач от чистых до среднетоннажных процессов. Модульная конструкция позволяет пользователям настраивать сухие насосы iGX в соответствии с индивидуальными требованиями производителя. Ультракомпактные габариты позволяют выполнять установку как непосредственно на инструменте, так и в непосредственной близости или удаленно.

Варианты исполнения

• iGX600N 200-230 В 50/60 Гц.
• iGX600N 380-460 В 50/60 Гц.

Технология

• iGX оснащен водяным клапаном с постоянным потоком.
• Предназначен для повышения энергоэффективности.
• Высокопроизводительные двигатели и инверторные приводы.
• Низкое энергопотребление при эксплуатации.
• Режим ожидания с пониженным энергопотреблением с помощью активного управления энергопотреблением (AUC).
• Разбавление азота может быть настроено в соответствии с требованиями применения.
• Минимизирует потребление газа Высокоэффективное охлаждение.
• Материалы с высокой проводимостью и хорошая конструкция обеспечивают низкий расход воды.
• Прецизионные керамические подшипники.
• Очень высокая грузоподъемность для надежности.
• Низкий уровень шума и вибрации.
• Подключение по Ethernet.

Серия iGX включает в себя уникальную функциональность веб-сервиса, которая позволяет просматривать ключевые параметры через простое подключение к Ethernet и браузер. Любой пользователь может просто подключиться к насосу для просмотра ряда сведений, таких как:

• рабочее состояние;
• основные параметры;
• уставки параметров;
• сводка предупреждений.

Применение

• Блокировка нагрузки.
• Перекачка.
• Метрология.
• Литография.
• Процесс PVD.
• Предварительная очистка PVD.
• RTA.
• Прокладка/Промывка.
• Оксидное травление.
• Травление кремния.
• Травление металла.

Особенности и преимущества

• Сниженые затраты на коммунальные услуги до 50% по сравнению с сухими насосами iL/iH.
• Без профилактического обслуживания.
• Гибкие варианты установки.
• Возможные улучшения производительности инструмента.
• Один из самых быстрых доступных насосов с блокировкой нагрузки.
• Стабильная производительность перекачки по всему миру.
• Скорость перекачки одинакова при 50 и 60 Гц.
• Снижение уровня окружающего шума всего 55 дБ (А).
• Широкий диапазон максимальной скорости 100, 300, 600 и 800 м3/ч^-1.