В серии EPX используется уникальный запатентованный одновальный регенеративный/ступенчатый механизм Holweck®, который позволяет им перекачивать из атмосферы до предельного давления <1x10-4 мбар или <1x10-6 мбар в зависимости от модели. Они идеально подходят для применений, где требуется более высокое базовое давление, чем может обеспечить обычный первичный насос, и где в противном случае потребовались бы турбомолекулярный насос и первичный насос, а также для применений, которые часто переключаются с атмосферного давления на низкое, поскольку они могут работать непрерывно при всех давлениях на входе.
- EPX500NE 208 В TIM 3/8 без водяного разъема.
- EPX500NE 400 В TIM 3/8 без водяного разъема.
- EPX500NE 208 В TIM 1/4 без водяного разъема.
- EPX500NE 208 В SPI TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500NE 400 В SPI TIM 1/4 водяной разъем.
- EPX500NE 208 В TEL TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500NE 400 В TEL TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500NE 400 В TEL TIM 1/4 водяной разъем.
- EPX500NE 208 В LAM TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500NE 208 В MCM TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500NE 400 В MCM TIM водяной разъем.
Применение
- Блокировка нагрузки.
- Перекачивающая камера.
- Распыление PVD.
- Озоление/прокладка PR.
- Диэлектрическая травление.
|
Параметр |
Значение |
|
Пиковая скорость |
500 м3/ч-1 |
|
295 футов3/мин-1 |
|
|
8338 л/мин-1 |
|
|
Максимальный вакуум |
<1x10-6 мбар |
|
<7,5x10-7 Торр |
|
|
<1x10-4 Па |
|
|
Время прогрева (до номинальной производительности) |
30 мин |
|
Входной фланец |
ISO160 |
|
Выходной фланец |
NW25 |
|
Шум |
<59 дБ (А) |
|
Минимальный расход охлаждающей воды |
2 л/мин-1 |
|
Температура охлаждающей воды |
15–35 °C |
|
Интерфейс подачи азота |
трубка 1/4 дюйма (6,5 мм) |
|
Давление подачи азота |
3 x 105 – 7 x 105 Па |
|
Минимальная чистота азота |
99.95% |
|
Электроснабжение |
200/208 В, 50/60 Гц, 3 фазы |
|
Мощность на пределе |
1,4 кВт |
|
Номинальная мощность двигателя |
3,0 кВт |
|
TIM |
Нет |
|
Вес |
45,2 кг |
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос