Заказать звонок

Задать вопрос

Центральный офис
Новосибирск, Академгородок, улица Николаева 11/5, 4 этаж
Офис в Новосибирске
Красный проспект 1, офис 214

+7 (800) 707-44-73

Контактная информация

sales@spegroup.ru

Насос вакуумный сухой Edwards EPX500N

Артикул: EPX500N

Цена по запросу

Варианты цен

Цена по запросу

Подробности

Под заказ

В корзину

Купить в 1 клик

В серии EPX используется уникальный запатентованный одновальный регенеративный/ступенчатый механизм Holweck®, который позволяет им перекачивать из атмосферы до предельного давления <1x10^-4 мбар или <1x10^-6 мбар в зависимости от модели. Они идеально подходят для применений, где требуется более высокое базовое давление, чем может обеспечить обычный первичный насос, и где в противном случае потребовались бы турбомолекулярный насос и первичный насос, а также для применений, которые часто переключаются с атмосферного давления на низкое, поскольку они могут работать непрерывно при всех давлениях на входе.

Технология

Насосная система EPX работает при давлении от атмосферного до предельного вакуума, при этом в насосной камере отсутствует смазочная или уплотняющая жидкость. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла или жидкости в откачиваемую систему.

Статор насоса и закрытый двигатель охлаждаются встроенным контуром водяного охлаждения. Поэтому насос EPX подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение недопустимо. Трубопроводы подачи и возврата охлаждающей воды подключаются к насосу с помощью соединителей для воды (уточняется заказчиком). Охлаждающая вода должна подаваться в соответствии с условиями окружающей среды (влажность и температура), чтобы не была достигнута точка росы.

Насос оснащен фильтром питания EMC и инверторным приводом, который обеспечивает и управляет электроснабжением насоса-двигателя. Светодиоды на передней крышке определяют состояние насоса EPX. Частота вращения двигателя зависит от давления на входе насоса. Когда насос запускается при давлении на входе, равном или близком к атмосферному, двигатель разгоняется до скорости, ограниченной током, который может подаваться инверторным приводом. По мере снижения давления на входе частота вращения двигателя увеличивается, пока в конечном итоге не достигнет заданной максимальной скорости. Если давление на входе увеличится, двигатель снова замедлится.

Насосы серии EPX N не могут управляться вручную; они должны управляться и контролироваться внешним управляющим оборудованием, которое должно быть подключено к насосу EPX через модуль интерфейса инструмента (TIM).

Насос EPX поддерживается четырьмя виброизоляторами.

Датчики защиты насоса автоматически отключают насос при возникновении неисправности.

Серия EPX ‘N’ включает газовый модуль, обеспечивающий продувку азотом, расширяющий диапазон применения для средних процессов, в которых ожидается низкий уровень агрессивных паров и твердых частиц.

Варианты исполнения

EPX500N 208 В C3 TIM 3/8 водяной разъем.
EPX500N 208 В SPI TIM 3/8 водяной разъем.
EPX500N 208 В SPI TIM 1/4 водяной разъем.
EPX500N 400 В TEL TIM 3/8 водяной разъем.
EPX500N 208 В TEL TIM 1/4 водяной разъем.
EPX500N 208 В MCM TIM 3/8 водяной разъем.
EPX500N 400 В 3/8 водяной разъем.

Применение

Блокировка нагрузки.
Перекачивающая камера.
Распыление PVD.
Озоление/прокладка PR.
Диэлектрическое травление.

Особенности

Компактность – EPX более компактен, чем эквивалентная комбинация турбомолекулярного насоса и первичного насоса.

Низкая стоимость владения – отсутствие планового технического обслуживания с 5-летним интервалом обслуживания.

Уникальный насосный механизм, защищенный патентом – EPX может откачивать из атмосферы до турбомолекулярного базового давления и может работать непрерывно при любом давлении на входе. Не требуется отдельная “грубая откачка”.

Сверхчистый механизм – насосы EPX не содержат смазки или масла в вакууме и не представляют другого источника потенциального загрязнения.

Чрезвычайно надежный – основанный на проверенной в полевых условиях технологии IPX, EPX имеет наработку на отказ = 13 лет (SEMI E10) с периодами обслуживания примерно каждые 5 лет, чтобы максимально продлить срок службы насоса.

Водяное охлаждение – низкая тепловая нагрузка на окружающую среду.

Низкий уровень шума и вибрации – улучшенная рабочая среда. Идеально подходит для работы в условиях, чувствительных к вибрации.

Параметр	Значение
Пиковая скорость	500 м³/ч^-1
	295 футов³/мин^-1
	8338 л/мин^-1
Максимальный вакуум	<1x10^-6 мбар
	<7,5x10^-7 Торр
	<1x10^-4 Па
Время прогрева (до номинальной производительности)	30 мин
Входной фланец	ISO160
Выходной фланец	NW25
Шум	<59 дБ (А)
Минимальный расход охлаждающей воды	2 л/мин^-1
Температура охлаждающей воды	15–35 °C
Интерфейс подачи азота	трубка 1/4 дюйма (6,5 мм)
Давление подачи азота	3 x 10⁵ – 7 x 10⁵ Па
Минимальная чистота азота	99.95%
Электроснабжение	200/208 В, 50/60 Гц, 3 фазы
Мощность на пределе	1,4 кВт
Номинальная мощность двигателя	3,0 кВт
TIM	C3
Вес	45,2 кг

Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».

Банковские карты

Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».

Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправив заявку на sales@spegroup.ru

Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.

Все товары категории

Все товары бренда Edwards

Нужна консультация?

Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос

Задать вопрос

Корзина