В серии EPX используется уникальный запатентованный одновальный регенеративный/ступенчатый механизм Holweck®, который позволяет им перекачивать из атмосферы до предельного давления <1x10-4 мбар или <1x10-6 мбар в зависимости от модели. Они идеально подходят для применений, где требуется более высокое базовое давление, чем может обеспечить обычный первичный насос, и где в противном случае потребовались бы турбомолекулярный насос и первичный насос, а также для применений, которые часто переключаются с атмосферного давления на низкое, поскольку они могут работать непрерывно при всех давлениях на входе.
Технология
Насосная система EPX работает при давлении от атмосферного до предельного вакуума, при этом в насосной камере отсутствует смазочная или уплотняющая жидкость. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла или жидкости в откачиваемую систему.
Статор насоса и закрытый двигатель охлаждаются встроенным контуром водяного охлаждения. Поэтому насос EPX подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение недопустимо. Трубопроводы подачи и возврата охлаждающей воды подключаются к насосу с помощью соединителей для воды (уточняется заказчиком). Охлаждающая вода должна подаваться в соответствии с условиями окружающей среды (влажность и температура), чтобы не была достигнута точка росы.
Насос оснащен фильтром питания EMC и инверторным приводом, который обеспечивает и управляет электроснабжением насоса-двигателя. Светодиоды на передней крышке определяют состояние насоса EPX. Частота вращения двигателя зависит от давления на входе насоса. Когда насос запускается при давлении на входе, равном или близком к атмосферному, двигатель разгоняется до скорости, ограниченной током, который может подаваться инверторным приводом. По мере снижения давления на входе частота вращения двигателя увеличивается, пока в конечном итоге не достигнет заданной максимальной скорости. Если давление на входе увеличится, двигатель снова замедлится.
Насосами серии EPX LE можно управлять вручную с помощью локального дисплея и клавиатуры End User Control (EUC) или дистанционно с помощью терминала отображения насоса (PDT), если он установлен; им также можно управлять и контролировать по сети, которая подключается к насосу EPX через сетевой разъем. Когда управление насосами серии EPX LE осуществляется через модуль интерфейса инструмента (TIM), EUC просто отслеживает состояние насоса.
Насос EPX совместим с Fabworks 32.
Насос EPX поддерживается четырьмя виброизоляторами.
Датчики защиты насоса автоматически отключают насос при возникновении неисправности.
Серия EPX охватывает широкий спектр применений от обработки пластин до процессов средней производительности.
Серия EPX "LE" была разработана для использования в чистых условиях, для перекачки смесей инертных газов, таких как loadlock, при этом управление обеспечивается интерфейсом технологического инструмента.
Варианты исполнения
- EPX500LE 208 В TIM 3/8 без водяных разъемов.
- EPX500LE 400 В TIM 3/8 без водяных разъемов.
- EPX500LE 208 В E73 TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500LE 208 В TEL TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500LE 208 В MCM TIM 3/8 водяной разъем.
Особенности
Компактность – EPX более компактен, чем эквивалентная комбинация турбомолекулярного насоса и первичного насоса.
Низкая стоимость владения – отсутствие планового технического обслуживания с 5-летним интервалом обслуживания.
Уникальный насосный механизм, защищенный патентом – EPX может откачивать из атмосферы до турбомолекулярного базового давления и может работать непрерывно при любом давлении на входе. Не требуется отдельная “грубая откачка”.
Сверхчистый механизм – насосы EPX не содержат смазки или масла в вакууме и не представляют другого источника потенциального загрязнения.
Чрезвычайно надежный – основанный на проверенной в полевых условиях технологии IPX, EPX имеет наработку на отказ = 13 лет (SEMI E10) с периодами обслуживания примерно каждые 5 лет, чтобы максимально продлить срок службы насоса.
Водяное охлаждение – низкая тепловая нагрузка на окружающую среду.
Низкий уровень шума и вибрации – улучшенная рабочая среда. Идеально подходит для работы в условиях, чувствительных к вибрации.
