В серии EPX используется уникальный запатентованный одновальный регенеративный/ступенчатый механизм Holweck®, который позволяет им перекачивать из атмосферы до предельного давления <1x10-4 мбар или <1x10-6 мбар в зависимости от модели. Они идеально подходят для применений, где требуется более высокое базовое давление, чем может обеспечить обычный первичный насос, и где в противном случае потребовались бы турбомолекулярный насос и первичный насос, а также для применений, которые часто переключаются с атмосферного давления на низкое, поскольку они могут работать непрерывно при всех давлениях на входе.
Технология
Насосная система EPX работает при давлении между атмосферным и предельным вакуумом, без смазки или герметизирующей жидкости в насосной камере. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла или жидкости в откачиваемую систему.
Статор насоса и закрытый двигатель охлаждаются встроенным контуром водяного охлаждения. Поэтому насос EPX подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение недопустимо. Трубопроводы подачи и возврата охлаждающей воды подключаются к насосу с помощью водяных соединителей (уточняется заказчиком). Охлаждающая вода должна подаваться в соответствии с условиями окружающей среды (влажность и температура), чтобы не была достигнута точка росы.
Насос оснащен фильтром питания EMC и инверторным приводом, который обеспечивает и управляет электроснабжением двигателя насоса. Светодиоды на передней крышке определяют состояние насоса EPX. Скорость двигателя зависит от давления на входе насоса. Когда насос запускается при давлении на входе, равном или близком к атмосферному, двигатель разгоняется до скорости, ограниченной током, который может подаваться инверторным приводом. По мере снижения давления на входе частота вращения двигателя увеличивается, пока в конечном итоге не достигнет заданной максимальной скорости. Если давление на входе увеличится, двигатель снова замедлится.
Насосы серии EPX L не могут управляться вручную; они должны управляться и контролироваться внешним управляющим оборудованием, которое должно быть подключено к насосу EPX через модуль интерфейса инструмента (TIM).
Насос EPX поддерживается четырьмя виброизоляторами.
Датчики защиты насоса автоматически отключают насос при возникновении неисправности.
Серия EPX охватывает широкий спектр применений – от обработки пластин до среднетоннажных процессов.
Серия EPX ‘L’ была разработана для использования в чистых условиях эксплуатации, перекачивая смеси инертных газов, например, в системах loadlock, при этом управление обеспечивается интерфейсом технологического инструмента.
Варианты исполнения
- EPX500L 208 В SPI TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500L 400 В SPI TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500L 208 В SPI TIM 1/4 водяной разъем.
- EPX500L 400 В E73 TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500L 400 В LAM TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500L 400 В MCM TIM без водяных разъемов.
- EPX500L 208 В MCM TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500L 400 В MCM TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500L 208 В C3 TIM 3/8 водяной разъем.
- EPX500L 200 В
- EPX500L 400 В
- EPX500L 400 В SPI TIM 3/8 водяной разъем.
Особенности
Компактность – EPX более компактен, чем эквивалентная комбинация турбомолекулярного насоса и первичного насоса.
Низкая стоимость владения – отсутствие планового технического обслуживания с 5-летним интервалом обслуживания
Уникальный насосный механизм, защищенный патентом – EPX может перекачивать из атмосферы в турбомолекулярное базовое давление и может работать непрерывно при любом давлении на входе. Не требуется отдельная “грубая откачка”.
Сверхчистый механизм – насосы EPX не содержат смазки или масла в вакууме и не представляют другого источника потенциального загрязнения.
Чрезвычайно надежный – основанный на проверенной в полевых условиях технологии IPX, EPX имеет наработку на отказ = 13 лет (SEMI E10) с периодами обслуживания примерно каждые 5 лет, чтобы максимально продлить срок службы насоса.
Водяное охлаждение – низкая тепловая нагрузка на окружающую среду.
Низкий уровень шума и вибрации – улучшенная рабочая среда. Идеально подходит для условий, чувствительных к вибрации.
