Насос вакуумный сухой Edwards EPX180N

Серия EPX использует уникальный запатентованный одновальный регенеративный/ступенчатый механизм Holweck®, который позволяет им перекачивать из атмосферы до предельного давления <1x10^-4 мбар или <1x10^-6 мбар в зависимости от модели. Они идеально подходят для применений, где требуется более высокое базовое давление, чем может обеспечить обычный первичный насос, и где в противном случае потребовались бы турбомолекулярный насос и первичный насос, а также для применений, которые часто переключаются с атмосферного давления на низкое, поскольку они могут работать непрерывно при всех давлениях на входе.

Технология

Насосная система EPX работает при давлении между атмосферным и предельным вакуумом, без смазочной или уплотняющей жидкости в насосной камере. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла или жидкости в откачиваемую систему.

Статор насоса и закрытый двигатель охлаждаются встроенным контуром водяного охлаждения. Поэтому насос EPX подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение недопустимо. Трубопроводы подачи и возврата охлаждающей воды подключены к насосу с помощью водяных разъемов (уточняется заказчиком). Охлаждающая вода должна подаваться в соответствии с условиями окружающей среды (влажность и температура) таким образом, чтобы не была достигнута точка росы.

Насос оснащен фильтром питания EMC и инверторным приводом, который обеспечивает и управляет электроснабжением насоса-двигателя. Светодиоды на передней крышке определяют состояние насоса EPX. Частота вращения двигателя зависит от давления на входе насоса. Когда насос запускается при давлении на входе, равном или близком к атмосферному, двигатель разгоняется до скорости, которая ограничена током, который может подаваться инверторным приводом. По мере снижения давления на входе частота вращения двигателя увеличивается, пока в конечном итоге не достигнет заданной максимальной скорости. Если давление на входе увеличится, двигатель снова замедлится.

Насосы серии EPX N не могут управляться вручную; они должны управляться и контролироваться внешним управляющим оборудованием, которое должно быть подключено к насосу EPX через модуль интерфейса инструмента (TIM).

Насос EPX поддерживается четырьмя виброизоляторами.

Датчики защиты насоса автоматически отключают насос при возникновении неисправности.

Серия EPX охватывает широкий спектр применений - от обработки пластин до процессов средней производительности.

Серия EPX ‘N’ включает газовый модуль, обеспечивающий продувку азотом, расширяющий область применения для средних процессов, в которых ожидается низкий уровень агрессивных паров и твердых частиц.

Варианты исполнения

• EPX180N 208 В C3 TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180N 208 В SPI TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180N 208 В SPI TIM 1/4 водяной разъем.
• EPX180N 208 В E73 TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180N 208 В TEL TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180N 400 В TEL TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180N 208 В MCM TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180N 400 В MCM TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180N 400 В 3/8 водяной разъем.

Применение

• Блокировка нагрузки.
• Перекачивающая камера.
• Распыление PVD.
• Озоление/прокладка PR.
• Диэлектрическая травление.

Особенности

Компактность – EPX более компактен, чем эквивалентная комбинация турбомолекулярного насоса и первичного насоса.

Низкая стоимость владения – отсутствие планового технического обслуживания с 5-летним интервалом обслуживания.

Уникальный насосный механизм, защищенный патентом – EPX может перекачивать из атмосферы в турбомолекулярное базовое давление и может работать непрерывно при любом давлении на входе. Никакой отдельной “грубой накачки” не требуется.

Сверхчистый механизм – насосы EPX не содержат смазки или масла в вакууме и не представляют другого источника потенциального загрязнения.

Чрезвычайно надежный – основанный на проверенной в полевых условиях технологии IPX, EPX имеет наработку на отказ = 13 лет (SEMI E10) с периодами обслуживания примерно каждые 5 лет, чтобы максимально продлить срок службы насоса.

Водяное охлаждение – низкая тепловая нагрузка на окружающую среду.

Низкий уровень шума и вибрации – улучшенная рабочая среда. Идеально подходит для сред, чувствительных к вибрации.