Насос вакуумный сухой Edwards EPX180L

В серии EPX используется уникальный запатентованный одновальный регенеративный/ступенчатый механизм Holweck®, который позволяет им перекачивать из атмосферы до предельного давления <1x10^-4 мбар или <1x10^-6 мбар в зависимости от модели. Они идеально подходят для применений, где требуется более высокое базовое давление, чем может обеспечить обычный первичный насос, и где в противном случае потребовались бы турбомолекулярный насос и первичный насос, а также для применений, которые часто переключаются с атмосферного давления на низкое, поскольку они могут работать непрерывно при всех давлениях на входе.

Варианты исполнения

• EPX180L 400 В, 3/8 водяной разъем.
• EPX180L 208 В C3 TIM 9/16 сводяной разъем.
• EPX180L 208 В SPI TIM 3/8 водяной разъем
• EPX180L 208 В SPI TIM 1/4 водяной разъем.
• EPX180L 208 В E73 TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180L 400 В E73 TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180L 208 В TEL TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180L 400 В LAM TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180L 208 В MCM TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180L 200 В.
• EPX180L 200 В, 3/8 водяной разъем.
• EPX180L 208 В C3 TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180L 400 В 1/4 водяной разъем.
• EPX180L 208 В C3 TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180L 208 В C3 TIM 3/8 водяной разъем.
• EPX180L 400 В SPI TIM 3/8 водяной разъем.

Технология

Насосная система EPX работает при давлении между атмосферным и предельным вакуумом, без смазки или герметизирующей жидкости в насосной камере. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла или жидкости в откачиваемую систему.

Статор насоса и закрытый двигатель охлаждаются встроенным контуром водяного охлаждения. Поэтому насос EPX подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение недопустимо. Трубопроводы подачи и возврата охлаждающей воды подключаются к насосу с помощью соединителей для воды (уточняется заказчиком). Охлаждающая вода должна подаваться в соответствии с условиями окружающей среды (влажность и температура), чтобы не была достигнута точка росы.

Насос оснащен фильтром питания EMC и инверторным приводом, который обеспечивает и управляет электроснабжением двигателя насоса. Светодиоды на передней крышке определяют состояние насоса EPX. Частота вращения двигателя зависит от давления на входе насоса. Когда насос запускается при давлении на входе, равном или близком к атмосферному, двигатель разгоняется до скорости, ограниченной током, который может подаваться инверторным приводом. По мере снижения давления на входе частота вращения двигателя увеличивается, пока в конечном итоге не достигнет заданной максимальной скорости. Если давление на входе увеличится, двигатель снова замедлится.

Насосы серии EPX L не могут управляться вручную; они должны управляться и контролироваться внешним управляющим оборудованием, которое должно быть подключено к насосу EPX через модуль интерфейса инструмента (TIM).

Насос EPX поддерживается четырьмя виброизоляторами.

Датчики защиты насоса автоматически отключают насос при возникновении неисправности.

Применение

Серия EPX охватывает широкий спектр применений от обработки пластин до среднетоннажных процессов.

Серия EPX "L" была разработана для использования в чистых условиях, для перекачки смесей инертных газов, таких как loadlock, при этом управление обеспечивается интерфейсом технологического инструмента.

Особенности и преимущества

Компактность – EPX более компактен, чем эквивалентная комбинация турбомолекулярного насоса и первичного насоса.

Низкая стоимость владения – отсутствие планового технического обслуживания с 5-летним интервалом обслуживания.

Уникальный насосный механизм, защищенный патентом – EPX может перекачивать из атмосферы в турбомолекулярное базовое давление и может работать непрерывно при любом давлении на входе. Не требуется отдельная “грубая откачка”.

Сверхчистый механизм – насосы EPX не содержат смазки или масла в вакууме и не представляют другого источника потенциального загрязнения.

Чрезвычайно надежный – основанный на проверенной в полевых условиях технологии IPX, EPX имеет наработку на отказ = 13 лет (SEMI E10) с периодами обслуживания примерно каждые 5 лет для максимального увеличения срока службы насоса.

Водяное охлаждение – низкая тепловая нагрузка на окружающую среду

Низкий уровень шума и вибрации – улучшенная рабочая среда. Идеально подходит для условий, чувствительных к вибрации.