Насос вакуумный сухой Edwards iH1800HTX

Сухие насосы Edwards iH - это высоконадежный и недорогой насос для сложных технологических процессов, в которых присутствуют твердые частицы, конденсирующиеся или коррозионные побочные продукты. Серия iH оснащена пятиступенчатым базовым насосом с инновационным консольным ротором, когтями и корнями, что улучшает пылеулавливание и снижает шум выхлопных газов. Кроме того, насосы серии iH оснащены одноступенчатым механическим бустерным насосом и полностью закрытыми двигателями с водяным охлаждением.

iH1800HTX специально разработан для таких процессов, как 300 мм LPCVD нитрид, где требуются более высокие рабочие температуры для предотвращения конденсации технологического газа.

Варианты исполнения:

• iH1800HTX 460 В, 60 Гц 3Ø;
• iH1800HTX 200/208 В, 50/60 Гц 3Ø;
• iH1800 380/415 В, 50 Гц 3Ø;
• iH1800 230 В, 60 Гц 3Ø.

Технология

Система iH работает при давлении между атмосферным и предельным вакуумом без смазывающей или уплотняющей жидкости в насосной камере. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла в откачиваемую систему.

Система iH1800 оснащена сухим насосом HCDP160 с механическим бустерным насосом HMB1800, установленным на входе насоса HCDP160. Насосы HCDP и HMB оснащены закрытыми двигателями с водяным охлаждением. Поэтому система iH подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение двигателей недопустимо.

Система iH оснащена газовой системой, которая подает продувочный газ в насос HCDP. Эта газовая система подходит для использования в тяжелых условиях эксплуатации. Если вы используете систему iH на процессах малой или средней производительности, вы можете использовать экономичный газовый режим, чтобы уменьшить потребление продувочного азота насосной системой.

Вы можете вручную управлять системой iH с помощью терминала индикации насоса. В качестве альтернативы, вы можете использовать свой технологический инструмент или другое управляющее оборудование для управления работой системы iH через аксессуар интерфейсного модуля или через аксессуар коммуникационного модуля iH, или вы можете использовать аксессуар iH Single Pumpset Monitor для управления работой системы iH.

Варианты iH HTX отличаются повышенными рабочими температурами, производительностью продувки и диаметром выхлопа для уменьшения конденсации технологических газов в насосе. Кроме того, они также оснащены системой управления температурой выхлопных газов (TMS) и возможностью продувки выхлопных газов с подогревом.

Особенности и преимущеста:

• Оптимизированное потребление коммунальных услуг;
• Профилактическое обслуживание не требуется;
• Консольные валы и специально профилированные роторы для лучшей обработки частиц;
• Резервная мощность двигателя также обеспечивает максимальную надежность при работе в жестких условиях CVD;
• Коррозионностойкие материалы позволяют перекачивать агрессивные газы;
• Более высокие рабочие температуры обеспечивают достаточный запас для предотвращения конденсации газа;
• Цельный вал устраняет необходимость в муфте двигателя, а пятая ступень откачки устраняет необходимость в глушителе и устраняет накопление частиц, что снижает общую площадь занимаемой площади.

Применение:

• Блокировка нагрузки;
• Перекачка;
• Метрология;
• Литография;
• Процесс PVD;
• Предварительная очистка PVD;
• RTA;
• Промывка/промывка;
• Травление;
• Источник имплантации;
• HDP CVD;
• RTP;
• SACVD;
• MCVD;
• PECVD;
• LPCVD;
• ALD.