Насос вакуумный сухой Edwards iH80

Сухие насосы Edwards iH - это высоконадежный и недорогой насос для сложных технологических процессов, в которых присутствуют твердые частицы, конденсирующиеся или коррозионные побочные продукты. Серия iH оснащена пятиступенчатым базовым насосом с инновационным консольным ротором, когтями и корнями, что улучшает пылеулавливание и снижает шум выхлопных газов. Кроме того, насосы серии iH оснащены одноступенчатым механическим бустерным насосом и полностью закрытыми двигателями с водяным охлаждением.

Серия iH обеспечивает высокую надежность для сложных технологических процессов, таких как PECVD и LPCVD, где присутствуют твердые частицы, конденсирующиеся и коррозионные побочные продукты.

Варианты исполнения:

• iH80 460 В, 60 Гц 3Ø;
• iH80 200/208 В, 50/60 Гц 3Ø;
• iH80 380/415 В, 50 Гц 3Ø;
• iH80 230 В, 60 Гц 3Ø.

Технология

Система iH работает при давлении между атмосферным и предельным вакуумом без наличия смазочной или уплотняющей жидкости в насосной камере. Это обеспечивает чистоту насосной системы без обратной миграции масла в откачиваемую систему.

Система iH80 оснащена сухим насосом HCDP80; насос HCDP оснащен закрытыми двигателями с водяным охлаждением. Поэтому система iH подходит для применения в чистых помещениях, где вентиляторное охлаждение двигателей недопустимо.

Система iH оснащена газовой системой, которая подает продувочный газ в насос HCDP. Эта газовая система подходит для использования в тяжелых условиях эксплуатации. Если вы используете систему iH на процессах малой или средней производительности, вы можете использовать экономичный газовый режим, чтобы уменьшить потребление продувочного азота насосной системой.

Вы можете вручную управлять системой iH с помощью терминала индикации насоса. Кроме того, вы можете использовать свой технологический инструмент или другое управляющее оборудование для управления работой системы iH через интерфейсный модуль или через дополнительный модуль обмена мгновенными сообщениями, или вы можете использовать аксессуар iH Single Equipment Monitor для управления работой системы iH.

Применение:

• Блокировка нагрузки;
• Перекачка;
• Метрология;
• Литография;
• Процесс PVD;
• Предварительная очистка PVD;
• RTA;
• Промывка/промывка;
• Травление;
• Источник имплантации;
• HDP CVD;
• RTP;
• SACVD;
• MCVD;
• PECVD;
• LPCVD;
• ALD.