Вакуумный насос Leybold РУТС RUVAC WA/WS 2001

Вакуумные насосы типа РУТС RUVAC позволяют получать давление на порядок меньше, чем давление форвакуумного насоса, также быстрота действия в диапазоне работы насоса РУТС зависит от номинальной быстроты действия насоса РУТС (которая относительно высокая). Точные параметры комбинаций РУТС/насос предварительного разряжения Вы можете увидеть в таблице технических параметров.

Практически преимущества насосов РУТС можно объяснить тем, что насос идеально работает в режимах среднего вакуума 1 - 5·10-5 мбар, он может давать высокие производительности потребляя небольшие мощности относительно 1-но ступенчатой системы с аналогичной производительностью.
Второе преимущество - это снижение остаточного давления системы на 1 порядок (в 10 раз). На практике это необходимо для правильно запуска высоковакуумных насосов: турбомолекулярных, криогенных, диффузионных. Запуск высоковакуумных насосов с высоких давлений - это нежелательная ситуация.

Скорость откачивания свыше 1000 м3/ч при режимах низкого вакуума целесообразнее получать с помощью вакуумного насосного устройства типа РУТСRUVAC. Если вакуумный насосный агрегат предварительного разряжения подобран правильно, топри его комбинировании с устройством типа РУТС RUVAC становится возможным значительное увеличение быстроты откачки. Более того, верный подбор двух насосов для системы делает совокупные затраты существенно меньше, нежели установка одного большого насоса (или нескольких в последовательном режиме).

Запуск диффузионного высоковакуумного насоса (рекомендуемое давление запуска ниже 5·10-2 мбар) после откачки камеры одним плунжерным (золотниковым) насосом. Получается ситуация, когда насос предварительного разряжения дает давление 1-0,1 мбар (в лучшем случае), запускается диффузионный насос и он работает на нерасчетном режиме: диффузионный насос выдает 10-20% производительности, идет перегрев масла (при высоких давлениях 1 - 1·10-2 мбар), эжектор загрязняется сажей (от масла), ухудшаются характеристики диффузионного насоса, идет повышенный уход масла из высоковакуумного насоса.
Система работает, и внешне Вы просто получаете небольшое увеличение времени откачки (которое часто является допустимым), со временем Вы получаете ухудшение работы диффузионного насоса и необходимость частой замены дорогого масла.

• Правильная работа диффузионного насоса для его многолетней безаварийной работы
• Низкие обратный поток масла в вакуумной камере - высокое качество процесса
• Низкие затраты на текущие ремонты (замена масла и расходных материалов)
• Сокращение времени выхода высоковакуумного насоса на рабочий режим

• Синхронизирующие шестерни
• Подшипники
• Лабиринтное уплотнением
• Пара роторов
• Статор электродвигателя
• Ротор электродвигателя
• Эпоксидная изоляция
• Вал ведущего ротора
• Разбрызгиватель масла

• Наличие байпасного клапана в моделях WAU WSU WHU, дает увеличение скорости откачки при больших давлениях всасывания, когда насос типа РУТС ещё не должен быть запущен. Данная опция в основном используется для оптимизации циклических режимов откачки.
• Вакуумные насосы RUVAC всех версий имеют нормированную герметичность - это важно для всех процессов откачки, и необходимо для процессов откачивания сверхчистых (либо опасных газов). Копания Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) предлагает версию WA/WAU масляным уплотнением, версию WS/WSU с изолированным ротором (металлический "стакан" между ротором и статором электродвигателя, версию WH/WHU с электродвигателем (ротор и статор находятся в масле редуктора) с водяным охлаждением.
• Возможность преобразования частоты вращения (в некоторых версиях до 120 Гц) обеспечивается за счет высоких допусков размеров, качества балансировки у вращающихся деталей. При таких условиях можно при необходимости изменять производительность вакуумной системы во время процесса, благодаря чему вакуумная система будет иметь запас по производительности, который может быть использован простой установкой преобразователя частоты, а не заменой вакуумной системы.
• насосы РУТС RUVAC могут функционировать как вертикально, так и горизонтально, что позволяет достаточно эффективно их использовать в вакуумных системах.