Серия Spellman FIB представляет собой встраиваемые высоковольтные источники питания с несколькими выходами, специально созданные для систем с фокусированным ионным пучком. Они вырабатывают стабильное ускорительное напряжение с регулируемыми параметрами для питания традиционных источников ионного излучения (Ga) и генераторов плазмы. Дополнительно используется блок ионной фокусировки, обеспечивающий высокую производительность с фиксированной или реверсивной полярностью для высоковольтных систем, требуемых для фокусировки ионного пучка. Основной блок и блок ионной фокусировки закрепляются на стойке 19". Системы с фокусированным ионным пучком, как правило, используются в полупроводниковой промышленности, материаловедении и все чаще применяются в области биологии для получения изображений, а также при травлении и напылении материалов.
Основной блок обеспечивает ускорительное напряжение до 35 кВ с выходами для регулируемого накала, экстрактора и ограничителя, специально созданных для работы c системами с фокусированным ионным пучком. Блок ионной фокусировки обеспечивает напряжение до 30 кВ с фиксированной или реверсивной полярностью. Все выходные параметры предлагаются с ультранизкой пульсацией, отличной регулировкой и стабильностью, описанными температурным коэффициентом, смещением и точностью. Изоляция и контроль соответствующих регулируемых источников обеспечиваются запатентованным компанией Spellman методом высоковольтной изоляции. Пользовательское управление данной интегрированной системой питания FIB осуществляется с помощью оптоволоконного интерфейса. Все высоковольтные защитные блокировки имеют отказоустойчивую аппаратную конструкцию. Система FIB имеет сертификацию СЕ и соответствует требованиям применимых стандартов IEC, UL и SEMI. Обратитесь к производителю для получения окончательных требований к конфигурации.
Стандартные области применения:
- Фокусированный ионный пучок
- Контроллер ионной пушки
Характеристики:
- Встроенные блоки ускорителя и источника ионного излучения
- Высокоэффективный заземленный блок ионной фокусировки
- Минимальный уровень пульсаций и максимально стабильные выходные параметры
- Надежная защита от дугового разряда и короткого замыкания
- Специальная система для сведения микроразрядов к минимуму
- Цифровой интерфейс с оптической развязкой
- Маркировка СЕ и соответствие требованиям SEMI S2
| Параметр | Значение |
|
Входное напряжение |
+24 В пост. тока, ±5 % при 5,5 А макс. Бросок тока < 6 А за 1 секунду |
|
Электропредохранитель |
Керамический электропредохранитель размером 5 х 20 мм с отметкой номинала, который можно заменить снаружи |
|
Коммутатор |
С помощью экранированного кулисного переключателя устройство можно включить и отключить с передней панели |
|
Условия окружающей среды |
Рабочая температура: нормальная работа при температуре среды от +10 до +45 °C. Устройство может работать и при 0 °C, но для этого требуется продолжительный прогрев. |
|
Механическая конфигурация |
Главный корпус (можно крепить на стойку) |
|
Масса |
Главный корпус: < 30 кг |
|
Программное обеспечение |
Взаимодействие с источником питания осуществляется посредством оптоволоконной связи, работающей при 19,2 кбод, или Ethernet. Обеспечивается базовая функция самопроверки. С помощью самопроверки можно убедиться в исправности внутренних элементов высоковольтного источника питания, в том числе в уровне внутреннего подаваемого напряжения, опорного напряжения, целостности встраиваемого ПО и т. д. Однако во время этой проверки выходное напряжение источника питания не изменяется. |
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос