Высоковольтный источник питания марки Bertan серии VS100 был разработан специально для высокоточных электроннолучевых систем, применяемых для полупроводниковой нанолитографии, микрооптики и разработки фотошаблонов. Низкие пульсации и высочайшая стабильность характеристик VS100 делают его идеальным вариантом для упомянутых систем с жесткими требованиями. Диапазон низкого или высокого напряжения выбирается переключателем.
Благодаря полной герметизации высоковольтной секции блок не требует технического обслуживания, при этом все компоненты надежно изолированы от окружающей среды. Устройство полностью защищено от перегрузки, дугового разряда и короткого замыкания. Обеспечивается дистанционное программирование и контроль. Имеется второй контроллер высокого напряжения, не входящий в схему управления. Это позволяет выполнять точные пассивные измерения высокого напряжения на выходе.
Типовые применения:
- Микрооптика
- Полупроводниковая литография
- Разработка фотошаблонов
Характеристики:
- Высоковольтный источник питания для электронного пучка
- Выходное напряжение 100 кВ
- Низковольтная/высоковольтная секция с выходным током 10 мкA / 100 мкA
- Пульсации менее 75 мв
- Превосходная стабильность
- Безмасляный/с твердотельной изоляцией
| Параметр | Значение |
|
Входное напряжение |
220 В перем. тока ±10 %, одна фаза, 50/60 Гц |
|
Выходное напряжение |
от 0 до 100 кВ, отрицательная полярность. Выбирается внешним переключателем до 105 кВ, ±500 В |
|
Выходной ток |
0–10 мкA, низкий диапазон 0–100 мкA, высокий диапазон Выбирается переключателем |
|
Нестабильность напряжения в сети |
±0,001 % номинального напряжения в заданном диапазоне входного напряжения |
|
Нестабильность по нагрузке |
≤ 20 В при изменении тока с 25 мкА до 60 мкА и с 60 мкА до 25 мкА |
|
Пульсация |
амплитуда ≤ 75 мВ |
|
Частичный разряд высокого напряжения |
менее 200 мВ |
|
Стабильность |
0,001 % за 8 часов после 6часового прогрева при температуре 20 °C ±0,2 °C |
|
Температурный коэффициент |
50 ppm на 1 °C в диапазоне температур от 10 °C до 40 °C |
|
Условия окружающей среды |
Рабочая температура: от 0 до 40 °C |
|
Охлаждение |
Блок управления — принудительное воздушное; высоковольтный блок — конвекционное |
|
Передняя панель |
Выключатель питания ВКЛ./ВЫКЛ |
|
Размеры |
Блок управления: 13,3 см × 48,3 см × 38,4 см (В × Ш × Г)) Блок ВН: 26,7 см × 48,3 см × 55,9 см (В × Ш × Г) |
|
Масса |
Блок управления: 9 кг Блок ВН: 50 кг |
|
Разъем интерфейса |
19-контактный Burndy GOB1619SNE (ответная часть входит в комплект поставки) |
|
Входной разъем переменного тока |
3-контактная входная розетка IEC320 |
|
Выходной высоковольтный разъем |
Claymount 2050-073 |
|
Выходной кабель ВН |
Подключается к задней панели, кабель не поставляется |
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос