Тонкопленочное покрытие — это технология нанесения тонкой пленки на стекло, металл, пластик или другой материал подложки в условиях вакуума во время производственных процессов для повышения функциональности и/или долговечности материалов. Например, его используют для покрытия оптических компонентов, используемых в смартфонах или автомобилях, солнечных панелей, а также стекла с низкой излучательной способностью (низкой лучистой теплопередачей), используемого в строительных материалах и других продуктах. Компания Shimadzu завоевала большую долю рынка турбомолекулярных насосов (ТМП), используемых для создания вакуумной среды для нанесения тонкопленочных покрытий. Shimadzu предлагает широкий ассортимент продукции TMP для производителей систем вакуумного осаждения из паровой фазы и систем напыления по всему миру.
Функции
1. Снижение энергопотребления до 18 %.
Новая модель помогает снизить воздействие на окружающую среду, потребляя на 18% меньше энергии (при перекачке с максимальным расходом газа), чем предыдущая модель.
2. Уменьшение веса насоса.
Вес насоса также был уменьшен со 115 кг. до 98 кг. что снижает рабочую нагрузку при перемещении и установке насоса.
3. Создан для удобства работы и высокого качества фильма.
Время запуска сократилось до менее 12 минут по сравнению с 14 минутами у предыдущей модели, что помогает повысить производительность. Новая модель соответствует стандартам степени защиты IP54, что указывает на высокий уровень устойчивости к проникновению воды и пыли, и может использоваться в самых разных средах.
4. Без масла и без обслуживания.
ТМП достигают состояния вакуума за счет удаления молекул воздуха с помощью лопаток турбины, вращающихся на высоких скоростях. Новая модель, разработанная специально для нанесения тонкопленочных покрытий, оснащена магнитным подшипником, который поднимает турбину под действием магнита, обеспечивая исключительно тихую работу. Магнитный подшипник также устраняет необходимость применения или пополнения смазочного масла. Это обеспечивает чистоту помещения, а отсутствие износа металла обеспечивает особенно долгий срок службы изделия. Отсутствие масла и обслуживания снижает воздействие на окружающую среду и снижают эксплуатационные расходы.
|
Параметр |
Значение |
|
|
Турбомолекулярный насос |
TMP-V4404LMW |
|
|
Входной фланец |
VG350 |
|
|
Выходной фланец |
KF40 |
|
|
Масса |
98 кг |
|
|
Максимальное давление (после обжига) |
порядка 10-7 Па |
|
|
Максимально допустимое входное давление1 |
40 Па |
|
|
Максимально допустимое давление на выходе1 |
170 Па |
|
|
Скорость перекачки2,3 |
N2 4500 л/с |
|
|
Степень сжатия |
N2 1.5×107 |
|
|
Номинальная частота вращения |
24000 об/мин |
|
|
Время запуска |
не более 12 минут |
|
|
Монтажное положение в любом желаемом направлении |
Может быть установлен в вертикальном, горизонтальном, перевернутом или наклонном положении. Выходной фланец должен быть обращен горизонтально или вертикально при горизонтальной и наклонной установке. При неправильном направлении установки надежность работы может ухудшиться. |
|
|
Уровень вибрации (по методу Шимадзу) |
0,01 мкм или менее (0-пик) |
|
|
Уровень шума |
50 дБ (А) или менее |
|
|
Рекомендуемый расход продувочного газа4 |
30 мл/мин |
|
|
Допустимая скорость откачки резервного вакуумного насоса при продувке газом |
1500 л/мин или более |
|
|
Дисплей |
LED |
POWER / STATUS / ROTATION / NET |
|
Коммуникация |
Contact |
REMOTE (D-sub 25 pin female, Screw lock size #4-40UNC) |
|
Serial |
RS-232C / RS-485 (D-sub 9 pin male, Screw lock size #4-40UNC) |
|
|
Изменение скорости |
Скорость регулируется в диапазоне от 75% до 100 % от номинальной скорости (устанавливается как 0,1 %). |
|
|
История тревог |
Сохраняет до 99 последних аварийных сигналов. |
|
|
Кратковременное отключение питания5 |
Если подача электроэнергии восстанавливается в течение 1 секунды или менее, то работа источника питания, предшествовавшая отключению электроэнергии, продолжается. Выходной сигнал не изменяется. В противном случае ротор турбомолекулярного насоса замедляется. |
|
|
Обнаружение сигнала тревоги |
Тревога |
Температура насоса, ошибка запуска насоса, перегрузка и чрезмерное вращение двигателя, выход из строя магнитного подшипника, неисправность контроллера (перегрев внутри системы управления или отказ цепи привода), перебои в подаче электроэнергии, конденсация росы и т.д. |
|
Предупреждение |
Неисправность магнитного подшипника, неисправность системы управления (перегрев внутри системы управления), конденсация росы (закрытый водяной клапан). |
|
|
Защита |
Тревога |
Загорается оранжевая лампочка состояния.
Сигнализация об отключении питания:
Сигнализация о выпадении росы:
При возникновении других аварийных сигналов: |
|
Предупреждение |
Индикатор состояния мигает оранжевым, и насос продолжает работать
Предупреждение о росе: |
|
|
Потребляемая электрическая мощность |
Напряжение5 |
Однофазное, 200–240 В переменного тока (50/60 Гц) |
|
Максимальная мощность |
1.2 кВА |
|
|
Выдерживаемое напряжение изоляции |
1500 В, 1 минута |
|
|
SCCR |
200 А |
|
|
Вода7 |
Скорость потока Давление Температура |
3 ~ 4 л/мин или больше |
|
Качество воды |
Неагрессивная промышленная вода Размер твердых частиц (макс.): 0.025 мм2 РН (при 25°С): 6.5 – 8.2 Электропроводность (при 25°С): 100 – 800 μS/cm (Электрическое сопротивление: 1250 – 10000 Ω cm) |
|
|
Допустимое окружающее магнитное поле |
Радиальное направление |
3 mT |
1Максимально допустимый расход, максимально допустимое давление на входе и максимально допустимое давление на выходе не могут быть соблюдены одновременно.
2Без защитной сетки. Скорость перекачки для N2 составляет 4050 л/с с защитной сеткой.
3Не используйте насосы нехимического типа для откачки агрессивных газов, таких как хлор или фтор.
4В случае использования опции продувки газом. мл/мин: объемный расход при 0°С, 1 атм. (Совместим с SCCM).
5Время может быть изменено с одной секунды на две секунды.
6Диапазон временных колебаний напряжения: ±10 %. Диапазон временных колебаний частоты: ±2 Гц.
7Температура без образования конденсата росы.
Максимально допустимый расход
|
Тип газа1,2 |
Температура клапана APC |
Расход газа для продувки4 |
Температура охлаждающей воды |
Максимально допустимый расход3,4 |
|
Аргон |
45°С |
0 мл/мин |
25°С |
1450 мл/мин |
|
30°С |
1350 мл/мин |
|||
|
Азот |
25°С |
2450 мл/мин |
||
|
30°С |
2250 мл/мин |
1Проконсультируйтесь с представителем Shimadzu перед использованием газов, за исключением указанных в таблице выше.
2Убедитесь, что насосы нехимического типа не используются для откачки агрессивных газов, таких как хлор или фтор.
3Максимально допустимый расход зависит от типа газа, температуры клапана APC и расхода продувочного газа.
4мл/мин: объемный расход при 0°С, 1 атм. (Совместим с SCCM).
Все покупки на сайте осуществляются с помощью безналичной оплаты.
Все платежи для физических лиц осуществляются через сервис Paykeeper.
Также возможно оформление счета для оплаты от юридического лица (мы работаем с НДС).
Подробная информация на странице «Условия оплаты».
Мы доставляем грузы несколькими транспортными компаниями, подробнее узнать о которых вы можете в разделе «доставка».
Выбрать вариант доставки вы можете при оформлении заказа на сайте, либо связавшись с менеджером
Срок поставки менеджер уточнит после оформления заявки.
Нужна консультация?
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос