Криогенный вакуумный насос Leybold COOLVAC 3000

Процесс высоковакуумной откачки с использованием криогенных средств откачки, основывается на значительной активизации процессов сорбции молекул различных газов (азот, водород, аргон, ксенон, водяной пар, гелий и другие) в условиях криогенных температур. принято применять криогенные вакуумные решения в диапазоне давлений от 10^-3 до 10^-11 мбар.

Из-за наличия у криогенных насосов предела по максимальному количеству сорбированного газа насосы не выгодно применять при высоких давления (выше 10^-3) - крио панели быстро насытятся(наморозят) газом, "обледенеют" и потеряют способность сорбировать газ. Параметр емкости криогенной панели является довольно важным, например, для COOLVAC 10000, DN 500, емкость по Ar/N2 равна 5500 бар·л).

Для того, чтобы получить высокий (либо сверхвысокий) вакуум, специальные холодные поверхности (они же криопанели) обязаны обладать криогенным уровнем температур. По системе охлаждения криогенные насосы подразделяются на рефрижераторные, испарительные и оснащенные резервуаром хладагента.

Рефрижераторные устройства от Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) характеризуются тем, что хладагент располагается в контуре, который в свою очередь объединяет криоголовку с компрессором.

• хорошие параметры откачки по всем газам;
• увеличенные показатели откачки по парам воды;
• достижение максимальных скоростей для входного высоковакуумного фланца определенных размеров;

• отсутствие высокоскоростных подвижных частей (в отличие от механических средств): безмасляный вакуум и высокая надежность;
• диапазон вакуума от 10^-3 до 10^-11 мбар;
• на процесс откачки не влияет наличие внешний вибрации.

• Оптимальные габаритные размеры для средств откачки выше 5000 л/с;
• периодичная работа устройств предварительной откачки: для создания предварительного разряжения, при регенерации;
• простота управления процессом откачки (различные варианты: панель CRYOVISION, программное обеспечение для ПК, интерфейсы, контакты для PLC;
• оптимальное высоковакуумное безмасляное решение для систем с большой производительностью (выше 20000 л/с).

Крионасос LeyboldGmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) охлаждается при помощи надежной двухступенчатой криоголовки, которая работает по действенному принципу авторства Гифорда/МакМахона.

1-ая ступень криогенной головки производит охлаждение криопанелей 5 и 6. В зависимости от разновидности насосного устройства, а также эксплуатационных условий может достигаться температурный уровень в диапазоне 45-80 К.

Криогенные панели производятся из меди. Данный материал обладает высокой теплопроводностью, благодаря чему оптимизируется процесс переноса тепла. Криопанели также обладают специальным отражающим покрытием, помогающим существенно снизить потери энергии.

2-аяступень криогенной головки (7) участвует в охлаждении криопанели. Здесь максимальный температурный диапазон составляет 10-20 К.

Процесс конденсации протекает в насосном устройстве в условиях криогенных температур следующих газов: азот (N2), аргон (Ar2) и кислород (O2). Внутренние элементы из меди прилегают достаточно плотно к поверхности второй ступени, принадлежащей криогенной головке. Надлежащая откачка водорода (H2), гелия (He) и неона (Ne)тоже возможна, поскольку на охлаждаемых поверхностях имеется адсорбент.