Расширение возможностей сканирующей электронной микроскопии
На рынке полупроводников и хранения данных уникальные характеристики Verios значительно расширяют возможности растровой электронной микроскопии до 22 нм и ниже, предлагая полное решение для фундаментальных исследований, разработки процессов и материалов, контроля процессов и анализа отказов.
Система дает точные и воспроизводимые результаты измерений даже для сверхчувствительных материалов. В комбинации с метрологическим программным обеспечением FEI, Verios обеспечивает точность измерений, необходимую для контроля процессов развития технологий. Verios предлагает лучшую производительность без ущерба высокой пропускной способности, гибкости образцов и простоты традиционной сканирующей электронной микроскопии.
| Разрешение |
30 кВ (STEM) 15 кВ (TLD) 1 k В (TLD) 500 В (ICD) 200 В (ICD) |
0.6 нм 0.7 нм 0.7 нм 1.0 нм 1.2 нм |
| Ток луча |
|
До 100 нA |
| Диапазон напряжений на поверхности образца |
|
20 V to 30 kV |
| Стол | X x Y x Z (мм) |
100 x 100 x 20 5-осевой моторизованный пьезостол |
| Камера |
|
Большая камера, 21 порт |
На нашем сайте вы можете совершать покупки с помощью безналичной оплаты. Для физических лиц мы предлагаем удобный сервис для обработки всех платежей. Если вы представляете юридическое лицо, у нас есть возможность оформления счета с учетом НДС. Подробности можно найти на странице «Условия оплаты».
Мы осуществляем доставку грузов с помощью нескольких надежных транспортных компаний. Узнать больше о доступных вариантах доставки можно в разделе «Доставка»
Вы можете связаться с нашим менеджером по телефону +7 (800) 707-44-73 или отправить заявку на электронную почту sales@spegroup.ru.
FEI Company — американская компания, специализирующаяся в области средств электронной микроскопии.
FEI является ведущей компанией, разрабатывающей научное оборудование, электронные и ионно-лучевые микроскопы и другие инструменты для наномасштабных приложений во многих отраслях промышленности: производственные и научные исследования материалов, науки о жизни, полупроводники, хранение данных, природные ресурсы и многое другое.
Инструменты, выпускаемые FEI, включают технологии ионного и электронного пучков, что позволяют пользователям характеризовать, анализировать и оперировать структурами на менее чем суб-ангстремном уровне.
Компания FEI установила стандарт производительности для просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), сканирующих электронных микроскопов (СЭМ) и двулучевых микроскопов, которые сочетают в себе СЭМ со сфокусированным пучком ионов (ФИП). Системы визуализации компании FEI обеспечивают 3D-характеризацию, анализ и модификацию / прототипирование с разрешением до субангстремного уровня.
