В корзине пусто

Тел./факс:

Подписка

Подпишитесь на новостную рассылку, чтобы быть всегда в курсе последних событий:

 

Главная / Новости /

Автоматизированная зондовая измерительная система CM300 производства компании Cascade Microtech признана лучшим устройством

28.07.2015

Зондовая система CM300 выиграла конкурс «Лучшее устройство по результатам измерений 2014 года» в категории полупроводниковых приборов, опередив трёх сильных соперников. 

Зондовая система на пластине CM300 стала важнейшей частью комплексной системы, использовавшейся в исследовательской лаборатории IMEC в Эйндховене во время работ по миниатюризации SiP, проводившихся компанией Infineon Technologies. Одной из ключевых областей проведения исследований является непосредственное зондирование на микровыводах с малым шагом, выполняющих функцию соединений в трёхмерных многоярусных кристаллах. Для этого необходимы зондовые платы с малым усилием и шагом и очень точная зондовая измерительная установка. Наша современная технология Pyramid Probe® в сочетании с точностью системы CM300 наилучшим образом соответствуют этим требованиям.

Предлагая возможность получения более точных параметров модели и достижения надёжного воспроизводимого контакта при изменении температуры и времени, система CM300 помогает сократить сроки внедрения новых устройств и технологий.

В CM300 реализовано множество решений, обеспечивающих высочайшие эксплуатационные характеристики и точность измерений. Из них стоит отметить следующие:

Функции:

·       Полное экранирование от электромагнитных помех для получения точных результатов с малыми утечками и низким уровнем шума;

·       Минимальное время установления для эффективных измерений без ущерба для точности во всем диапазоне температур;

·       Автоматическое терморегулирование (Automated Thermal Management, ATM™) подстраивает параметры оборудования в соответствии с температурой держателя;

·       Возможность автоматического повторного совмещения компенсирует температурный дрейф пластин и датчиков после каждого изменения температуры;

·       Надёжные и воспроизводимые контакты в широком диапазоне температур на небольших площадках (от 40 мкм) и микровыводах;

·       Многоцелевой мост для подключения измерительных приборов, таких как анализатор параметров или помех и векторный анализатор цепей (VNA), как можно ближе к проверяемому устройству.

В системе используется программное обеспечение Velox™ и VeloxPro™ для управления зондовой измерительной станцией и автоматизации испытаний:

·       Полностью автоматический инженерный режим работы системы;

·       Свободное перемещение между кристаллами на пластине;

·       Тестирование отдельных кристаллов;

·       Удобный интерфейс пользователя стандарта SEMI E95;

·       Эффективная передача данных с помощью ПО выполнения измерений;

·       Мощные средства распознавания образов;

·       Автоматическое совмещение пластин и автоматическая коррекция по XYZ и углу для субмикронного шагового экспонирования.

Быстрый доступ к вспомогательным держателям:

·       Два патентованных вспомогательных держателя для калибровки высокой точности в РЧ/СВЧ-измерениях на частотах до 110 ГГц;

·       Три места для современных процедур чистки и проверки контактов.

Ручная установка и снятие пластин:

·       Полуавтоматический режим, позволяющий вручную работать с отдельным кристаллом, фракциями и небольшими пластинами;

·       Возможность работать с рамками пластин размером 300 мм для тонких пластин на фольге (дополнительно).

Встроенная система виброизоляции:

·       Устраняет вибрацию от внешних источников (акустических и архитектурных), обеспечивая надёжность работы с небольшими площадками;

·       Повышает стабильность системы и позволяет меньше повреждать площадки, пластины и зонды;

·       Удобный доступ с передней и задней сторон для быстрой настройки и обслуживания.

Зондирование в широком диапазоне температур:

·       Определение характеристик и моделирование в диапазоне температур от –60 ˚C до 300 ˚C;

·       Тепловая оптимизация зажима, принцип экранирования и сверхплоские держатели пластин обеспечивают стабильность и воспроизводимость измерений.

Встроенный охладитель:

·       Конструкция устройства предусматривает возможность установки охладителя, позволяя минимизировать занимаемое место.

До двух портов установки:

·       Для повышенной производительности ― до 50 пластин для длительной автономной работы;

·       Для кассет с 300-мм пластинами FOUP и FOSB;

·       Открытый кассетный адаптер для использования стандартных 200-мм кассет пластин (дополнительно);

·       Возможность автоматического учёта и быстрой смены кассет для обработки приоритетных пластин.

Возможность работы в режиме сдвоенной зондовой измерительной установки:

·       Две независимых зондовых измерительных установки могут использовать один манипулятор, повышая эффективность использования тестовой ячейки и сводя к минимуму занимаемое место;

·       Возможность модернизации на месте эксплуатации.

M300 ― это точность и надёжность, реализованные в полностью модульном устройстве, будь то измерения I-V/C-V, RTN или РЧ-измерения в единой полуавтоматической системе или полностью автоматическая система из двух зондовых измерительных устройств, работающая с любым сочетанием 200-мм и 300-мм пластин. Наша квалификация в области прецизионных измерений даст вам возможность уверенно получать точные и надёжные данные в современных и перспективных технологиях проектирования устройств. Для CM300 можно быстро спрогнозировать оставшийся срок эксплуатации в целях обеспечения надёжности, а процесс моделирования не требует большого объёма повторного проектирования. Повышенная производительность и эффективность обеспечиваются за счёт возможности проводить анализ в широком диапазоне температур и поддерживать точность расположения зонда относительно пластины при работе с малыми площадками (от 40 мкм).

За консультацией и по вопросам приобретения оборудования Вы можете обратиться к нашим специалистам - sales@spegroup.ru

Вернуться к списку новостей