В корзине пусто

Тел./факс:

Новости

15.02.2018 Генераторы произвольной формы АКИП-3422

Ф

 

События

17.01.2018 Основы разработки и тестирования преобразователей электрической энергии, Новосибирск

Группа компаний "Научное оборудование" и компания Keysight Technologies (ранее Группа электронных измерений Agilent) приглашают Вас 6 февраля 2018 г. на семинар «Основы разработки и тестирования преобразователей электрической энергии» в рамках серии семинаров HOTSPOTS.

Б Ф Х Г

 

Подписка

Подпишитесь на новостную рассылку, чтобы быть всегда в курсе последних событий:

 

Прецизионный измерительный инструмент Impedans Semion 800

Semion 800™ - это прецизионный измерительный инструмент, предназначенный для измерения ионной энергии и потока частиц in-situ на поверхность в камере плазменного реактора с энергией частиц до 800 эВ.


Добавить в мои товары

Получив ваш запрос, наш менеджер свяжется с вами для уточнения деталей. Вы также можете связаться с менеджером по телефону: +7 (383) 383-24-06

 

Компания Impedans специализируется на производстве высокотехнологичных устройств высокого разрешения для диагностики плазмы для исследовательских и промышленных организаций.

Semion 800™ -  это прецизионный измерительный инструмент, предназначенный для измерения ионной энергии и потока частиц in-situ на поверхность в камере плазменного реактора с энергией частиц до 800 эВ. Semion 800™ может использоваться для решения широкого спектра задач, связанных с плазменными технологиями.

Semion 800™ производит измерение следующих параметров плазмы: ионной энергии, ионного потока, электронной энергии, плазменного потенциала, плавающего потенциала. Semion 800™ обеспечивает измерения в плазме постоянного тока, DC, RF, Microwave, в непрерывном и импульсном режимах. Зонд может быть расположен на заземлённой поверхности или находиться под постоянным или ВЧ-потенциалом.

Semion 800™ даёт возможность исследователю изучать взаимодействие ионов с поверхностью в камере плазменного реактора. Semion 800™ является необходимым инструментом для исследования отклика плазмы на изменение её входных параметров. В импульсных установках, обеспечивающих заданную энергию частиц, Semion 800™ найдет самое непосредственное применение.

Semion 800™ - это хорошо зарекомендовавший себя инструмент, являющийся наиболее передовым среди анализаторов типа RFEA, присутствующих в данный момент на рынке. Semion 800™ - это эффективное вложение средств, окупающееся сокращением времени отладки технологического процесса и упрощением развёртывания системы технологического контроля.

Semion Pulsed DC™ - это:

  • Механическая прочность
  • Простота установки
  • Удобное программное обеспечение
  • Сменные датчики
  • Держатель может находиться под потенциалом или быть заземлён
  • Полностью автоматизированные измерения
  • Материал держателя определяется заказчиком

Основные показатели

Датчик энергии в задерживающем поле для крепления на субстрате

  • Измерения In-situ: Ионной функции распределения, Ионного потока, Ионного тока, Электронного потока и электронной энергии
  • Предел измерения ионной энергии: 800 эВ при давлениях до 0.3 Torr
  • Прост в установке, не требует модификации рабочей камеры
  • Портативен. Один модуль обслуживает несколько реакционных камер

   impedance/semion 800.pdf (0.00 Мб.)