В корзине пусто

Тел./факс:

Новости

15.02.2018 Генераторы произвольной формы АКИП-3422

Ф

 

События

17.01.2018 Основы разработки и тестирования преобразователей электрической энергии, Новосибирск

Группа компаний "Научное оборудование" и компания Keysight Technologies (ранее Группа электронных измерений Agilent) приглашают Вас 6 февраля 2018 г. на семинар «Основы разработки и тестирования преобразователей электрической энергии» в рамках серии семинаров HOTSPOTS.

Б Ф Х Г

 

Подписка

Подпишитесь на новостную рассылку, чтобы быть всегда в курсе последних событий:

 

Прецизионный анализатор энергии в задерживающем поле Impedans Semion Pulsed DC

Semion Pulsed DC™ - это прецизионный анализатор энергии в задерживающем поле, предназначенный для исследования временной зависимости энергии ионов, поступающих на поверхность в камере плазменного реактора.


Добавить в мои товары

Получив ваш запрос, наш менеджер свяжется с вами для уточнения деталей. Вы также можете связаться с менеджером по телефону: +7 (383) 383-24-06

 

Компания Impedans специализируется на производстве высокотехнологичных устройств высокого разрешения для диагностики плазмы для исследовательских и промышленных организаций.

Semion Pulsed DC™ - это прецизионный анализатор энергии в задерживающем поле, предназначенный для исследования временной зависимости энергии ионов, поступающих на поверхность в камере плазменного реактора.

Semion Pulsed DC™ может выступать в качестве основного инструмента для измерения энергии и потока ионов на рабочую поверхность в реакторах, использующих ионный поток. Semion Pulsed DC™ располагается непосредственно на субстрате и может находиться под высоким потенциалом или быть заземлён. Зонд может использоваться в плазме постоянного тока, RF, Microwave, в непрерывном и импульсном режиме.

Semion Pulsed DC™ позволяет производить измерения следующих параметров плазмы: ионная энергия, ионный поток, электронная энергия, плазменный потенциал, плавающий потенциал. Semion Pulsed DC™ является единственным полностью автоматизированным зондом RFEA, производящим времяразрешённые измерения в субмикросекундном диапазоне.

Semion Pulsed DC™ даёт возможность исследователю наблюдать динамику процесса плазменной обработки, изучать взаимодействие ионов с поверхностью. Semion Pulsed DC™ является необходимым инструментом для исследования отклика плазмы на изменение её входных параметров. В импульсных установках, обеспечивающих заданную энергию частиц, Semion Pulsed DC™ найдёт самое непосредственное применение.

Semion Pulsed DC™ - это:

  • Механическая прочность
  • Простота установки
  • Измерения в реальном времени
  • Полностью автоматизированный процесс измерений
  • Удобное программное обеспечение
  • Сменные датчики
  • Держатель может находиться под потенциалом или быть заземлён
  • Материал держателя определяется заказчиком

Основные показатели

Анализатор энергии в задерживающем поле для крепления на субстрате

  • Измерения In-situ: Ионной функции распределения, Ионного потока, Ионного тока, Электронного потока и электронной энергии
  • Предел измерения ионной энергии: 800 эВ
  • Прост в установке, не требует модификации рабочей камеры
  • Портативен. Один модуль может обслуживать несколько реакционных камер

   impedance/semion pulsed.pdf (0.00 Мб.)