В корзине пусто

Тел./факс:

Новости

19.06.2018 В Уральском федеральном государственном университете открылась лаборатория Современных телекоммуникационных технологий на базе решений Keysight Technologies

25 мая 2018 Уральский федеральный государственный университет и компания Keysight Technologies объявили об открытии лаборатории Современных телекоммуникационных технологий на базе Института радиоэлектроники и информационных технологий УрФУ.

Ф

 

События

08.05.2018 Leybold. Вакуумное оборудование для лабораторного и промышленного применения

Группа компаний "Научное оборудование" и ООО "Лейфикон Вакуум Сервис", официальный представитель компании Leybold в России, приглашают Вас принять участие в серии семинаров "Leybold. Вакуумное оборудование для лабораторного и промышленного применения", которые пройдут в Новосибирске и Зеленогорске с 14 по 18 мая 2018 года.

Ф Г

 

Подписка

Подпишитесь на новостную рассылку, чтобы быть всегда в курсе последних событий:

 

Система для рефлектометрии тонких пленок Ocean Optics NanoCalc


Добавить в мои товары

Получив ваш запрос, наш менеджер свяжется с вами для уточнения деталей. Вы также можете связаться с менеджером по телефону: +7 (383) 383-24-06

 

Создатель первого в мире компактного оптического спектрометра. Компания Ocean Optics успешно зарекомендовала себя на мировом рынке как ведущий производитель компактных спектрометров, аксессуаров к ним и систем на их базе для оптической спектрометрии. Группа компаний «Научное оборудование» является эксклюзивным представителем компании Ocean Optics на территории Сибири и Дальнего Востока РФ.

Оптические свойства тонких пленок возникают из-за  эффектов отражения и интерференции. Метрологическая система для рефлектометрии тонких пленок NanoCalc позволяет анализировать оптические слои толщиной от 10 нм до ~250 мкм. с разрешением до 0.1 нм. В зависимости от выбора программного обеспечения, вы можете анализировать однослойные или многослойные пленки менее чем за одну секунду, а также можете измерять толщину и удельный съем полупроводниковых пленок, нецарапающихся, твердых и антибликовых покрытий.

Преимущества системы NanoCalc

  • Возможность анализа однослойных и многослойных покрытий
  • Разрешение до 0.1 нм
  • Анализ покрытий в реальном времени на рабочем месте
  • Обширная база данных материалов

Принцип действия

Два наиболее распространенных способа измерения характеристик тонких покрытий - это измерение коэффициентов отражения/пропускания и эллипсометрия. В системе NanoCalc используется метод отражения и измерения количества света, отраженного от тонкого покрытия на различных длинах волн, падающего по нормали к поверхности образца.

Поиск по величине n и k

Анализируемое покрытие может содержать до 10 различных слоев. Слои и подложки могут быть металлическими, диэлектрическими, аморфными или представлять собой кристаллические полупроводники. Программное обеспечение NanoCalc включает в себя обширную библиотеку значений n и k для наиболее распространенных материалов. Вы можете самостоятельно редактировать записи библиотеки, или добавлять новые. Кроме того, вы можете определить типы материалов по формулам уравнений или дисперсии.

Область применения

Рефлектометрические системы NanoCalc для тонких пленок идеально подходят для локального измерения удельного съема материалов, а также для определения толщины оксидированных, SiNx, фоторезистивных и других полупроводниковых пленок. Системы NanoCalc также позволяют измерять антибликовые и нецарапающиеся покрытия, необработанные слои на подложках, таких как сталь, алюминий, латунь, медь, керамика и пластмассы.

Также среди областей применения:

  • Измерение пропускания и отражения неотражающих и жестких покрытий
  • Анализ медицинских покрытий и надувных шариков катетеров
  • Тестирование прочности и изношенности покрытий
  • Измерение толщины утоненных силиконовых дисков
  • Определение фоторезистивных слоев защитных маск
  • Анализ погодоустойчивых и грязеустойчивых покрытий (эффект Лотоса)
  • Измерение покрытий внутри контейнеров для напитков
  • Измерение воздушных зазоров
  • Анализ покрытий оптических дисков

Выбор программного обеспечения

Каждая метрологическая система NANOCALC требует наличия установленного программного обеспечения NANOCALC-1, или NANOCALC-10-N. Также для заказа доступны дополнительные модули, позволяющие осуществлять функции  симуляции спектра, позиционирования и внешней синхронизации.

Технические характеристики

Модель: NANOCALC-VIS NANOCALC-XR NANOCALC-DUV NANOCALC-NIR
Спектральный диапазон: 400-850 нм 250-1050 нм 190-1100 нм 900-1700 нм
Измеряемая толщина
пленки:
50 нм - 20 мкм 10 нм - 100 мкм 1 нм - 100 мкм 100 нм - 250 мкм
Оптическое разрешение: 0.1 нм
Повторяемость: 0.3 нм
Угол падения излучения: 90º, или 70º
Количество слоев: до 10
Показатель преломления: да
Тестируемые материалы: Прозрачные, или полупрозрачные покрытия
Необходимость в опорном сравнении: да (непокрытая подложка)
Режимы измерения: Отражение и пропускание
Поддержка необработанных покрытий:  да
Скорость измерения: от 100 мс до 1 с
Измерение в реальном
времени:
да
Настройка высоты: 10-50 мм (с помощью адаптера COL-UV-6.35)
Размер пятна: 200 мкм / 400 мкм (стандартно)
100 мкм (по запросу)
Микрофокус: да (при использовании микроскопа)
Визуализация: да (при использовании микроскопа)
Возможность
позиционирования:
Столики 150 х 300 мм
Поддержка измерений
в вакууме:
да
ПО для управления и обработки данных: NANOCALC (не входит в комплект поставки)

Информация для заказа

Системы NANOCALC:

Код товара Описание
NANOCALC-VIS Система для рефлектометрии тонких пленок для диапазона 400-850 нм, для покрытий толщиной 50 нм - 20 мкм 
NANOCALC-XR Система для рефлектометрии тонких пленок для диапазона 250-1050 нм, для покрытий толщиной 10 нм - 100 мкм
NANOCALC-DUV Система для рефлектометрии тонких пленок для диапазона 190-1100 нм, для покрытий толщиной 1 нм - 100 мкм
NANOCALC-NIR Система для рефлектометрии тонких пленок для диапазона 900-1700 нм, для покрытий толщиной 100 нм - 250 мкм

Стандартное (обязательное) программное обеспечение для систем NANOCALC:

Код товара Описание
NANOCALC-1 Стандартное программное обеспечение для измерения тонких пленок для ОС Windows XP и выше. Выполняет измерение, симуляцию и однослойный анализ массива, содержащего до 4 слоев (может быть выделен только один слой, остальные должны быть фиксированными)
NANOCALC-10-N Стандартное программное обеспечение для измерения тонких пленок для ОС Windows XP и выше. Выполняет измерение, симуляцию и анализ до 10 слоев. Также может быть определен коэффициент преломления (для определения коэффициента преломления массива слоев требуется наличие дополнительного модуля SCOUT)

Дополнительное программное обеспечение NANOCALC:

Код товара
SCOUT-FULL
NANOCALC-MAPPING
NANOCALC-ONLINE
NANOCALC-MULTIPOINT
NANOCALC-REMOTE

Сдвоенные оптоволоконные кабели для систем NANOCALC:

Код товара
NC-2UV-VIS400-2
NC-2UVS400-2
NC-2VIS-NIR400-2

Зонды отражения для систем NANOCALC:

Код товара
NC-7UV-VIS200-2
NC-7UV-VIS200-2-SMA

Дополнительные принадлежности для систем NANOCALC:

Код товара Описание
STEP-WAFER Калибровочная подложка Si-SiO2, 5 шагов от 0 до 500 нм, диаметр 100 мм
STEP-WAFER-600-1100 Калибровочная подложка Si-SiO2, 5 шагов от 600 до 1100 нм, диаметр 100 мм
STAGE-RTL-T Предметный столик для измерения отражения и пропускания с переменной направляющей, держателем волокна, держателем образцов, световой ловушкой и двумя коллиматорами для разных материалов подложки (для измерения пропускания требуется 2 дополнительных оптоволоконных кабеля).
STAGE Предметный столик для одноточечного измерения непрозрачных образцов
COL-UV-6 Коллиматор UV-VIS-NIR (200-2000 нм), плавленный кварц Suprasil, диаметр 6 мм, фокусное расстояние 10, 200 °C, SMA 905, резьба 3/8-24
COL-UV-6.35 Коллиматор UV/VIS/NIR (200-2000 нм) с разъемом 6.35 мм

Для рефлектометрических приложений необходимы следующие позиции:

Код товара Описание
NC-2UV-VIS100-2 Сдвоенный оптоволоконный кабель, длина 2 м, диаметр волокна 400 мкм, металлическая оболочка, разъемы SMA905
NC-STAGE Опция одноточечного измерения непрозрачных образцов
STEP-WAFER Калибровочная круглая подложка 4", 5 шагов, 0-500 мм 

При использовании микроскопа также необходимы следующие позиции:

Код товара Описание
NC-7UV-VIS200-2 Зонд отражения для использования с микроскопом + адаптер MFA-C-MOUNT
STEP-WAFER Калибровочная круглая подложка 4", 5 шагов, 0-500 мм

 

   NanoCalc-Manual.pdf (0.00 Мб.)