В корзине пусто

Тел./факс:

Новости

15.02.2018 Генераторы произвольной формы АКИП-3422

Ф

 

События

17.01.2018 Основы разработки и тестирования преобразователей электрической энергии, Новосибирск

Группа компаний "Научное оборудование" и компания Keysight Technologies (ранее Группа электронных измерений Agilent) приглашают Вас 6 февраля 2018 г. на семинар «Основы разработки и тестирования преобразователей электрической энергии» в рамках серии семинаров HOTSPOTS.

Б Ф Х Г

 

Подписка

Подпишитесь на новостную рассылку, чтобы быть всегда в курсе последних событий:

 

Ионный микроскоп FEI V400ACE FIB

Ионный микроскоп V400ACE объединяет в себе последние разработки в проектировании ионной колонны, подачи газа и точечного позиционирования для обеспечения быстрого, эффективного, экономичного производства интегральных схем. Система позволяет производителям полупроводниковых схем развести проводящие дорожки и протестировать работу измененных схем в течение считанных часов, а не недель или месяцев, которые потребуются для создания новых масок и обработки новых пластин традиционными методами.


Добавить в мои товары

Получив ваш запрос, наш менеджер свяжется с вами для уточнения деталей. Вы также можете связаться с менеджером по телефону: +7 (383) 383-24-06

 

FEI является ведущей компанией, разрабатывающей научное оборудование, электронные и ионно-лучевые микроскопы и другие инструменты для наномасштабных приложений во многих отраслях промышленности: производственные и научные исследования материалов, науки о жизни, полупроводники, хранение данных, природные ресурсы и многое другое.

Ионный микроскоп V400ACE объединяет в себе последние разработки в проектировании ионной колонны, подачи газа и точечного позиционирования для обеспечения быстрого, эффективного, экономичного производства интегральных схем. Система позволяет производителям полупроводниковых схем развести проводящие дорожки и протестировать работу измененных схем в течение считанных часов, а не недель или месяцев, которые потребуются для создания новых масок и обработки новых пластин традиционными методами. Ионная колонна Tomahawk обеспечивает непревзойденные возможности при непрерывной работе в диапазоне ускоряющего напряжения от 30 кВ до 0,5 кВ. Высокая плотность тока при травлении при ускоряющем напряжении 30 кВ обеспечивает быстрое удаление материала и увеличение пропускной способности, в то время как работа при низком напряжении используется для селективного травления меди.

Области применения: микроэлектроника, нанотехнологии.

Основные преимущества:

  • Система подачи газа NanoChemix обеспечивает повышенную скорость, гибкость, однородность и качество удаления материала и его осаждения

  • Ионная колонна Tomahawk обеспечивает больший ток на меньшую площадь поверхности для более быстрого и точного травления

  • Лучшая в своем классе система подготовки тонких образцов для 3D исследования и анализа

  • Разрешение изображения 4,5 нм при ускоряющем напряжении 0,5 кВ - 30 кВ

Технические характеристики:

Характеристика

Значение

Ионная оптика

Ионная колонна Tomahawk.
Источник ионов на базе жидкого галлия для применения в высоком вакууме.

Разрешение

4,5 нм

Ускоряющее напряжение

От 0,5 кВ до 30 кВ

Ток зонда

от 0,6 пА до 65 нA

Столик:

- Тип

Эвцентрический столик с пьезоприводом, моторизованный по 5 осям

- Ход по осям X и Y

  1. х 100 мм

- Поворот

n x 360°

- Наклон

-10° …+60°