В корзине пусто

Тел./факс:

Новости

19.06.2018 В Уральском федеральном государственном университете открылась лаборатория Современных телекоммуникационных технологий на базе решений Keysight Technologies

25 мая 2018 Уральский федеральный государственный университет и компания Keysight Technologies объявили об открытии лаборатории Современных телекоммуникационных технологий на базе Института радиоэлектроники и информационных технологий УрФУ.

Ф

 

События

08.05.2018 Leybold. Вакуумное оборудование для лабораторного и промышленного применения

Группа компаний "Научное оборудование" и ООО "Лейфикон Вакуум Сервис", официальный представитель компании Leybold в России, приглашают Вас принять участие в серии семинаров "Leybold. Вакуумное оборудование для лабораторного и промышленного применения", которые пройдут в Новосибирске и Зеленогорске с 14 по 18 мая 2018 года.

Ф Г

 

Подписка

Подпишитесь на новостную рассылку, чтобы быть всегда в курсе последних событий:

 

Двухлучевая система FEI Helios NanoLab

Двухлучевая система (DualBeam) Helios Nanolab позволяет выйти на новый уровень получения 2D- и 3D-изображений и анализа, создания нанопрототипов и подготовки образцов. Технология Elstar™ FESEM обеспечивает наилучшую детализацию в нанометровом диапазоне в самых разных рабочих режимах: разрешениее значительно ниже 1 нм достигается как при 30 кВ для получения информации о структуре, так и при 500 В для беззарядного получения детальных данных о поверхности.


Добавить в мои товары

Получив ваш запрос, наш менеджер свяжется с вами для уточнения деталей. Вы также можете связаться с менеджером по телефону: +7 (383) 383-24-06

 

FEI является ведущей компанией, разрабатывающей научное оборудование, электронные и ионно-лучевые микроскопы и другие инструменты для наномасштабных приложений во многих отраслях промышленности: производственные и научные исследования материалов, науки о жизни, полупроводники, хранение данных, природные ресурсы и многое другое.

Двухлучевая система Helios Nanolab позволяет выйти на новый уровень
получения двух- и трехмерных изображений изучаемых объектов и их ана-
лиза, создания нанопрототипов и подготовки образцов. Технология Elstar™
FESEM обеспечивает наилучшую детализацию в нанометровом диапазоне.
В двухлучевой системе также реализована новейшая разработка компании
FEI— ионная колонна Tomahawk™ FIB. Эффективность колонны Tomahawk
в условиях низкого напряжения достаточно велика для того, чтобы получать
тонкие образцы высочайшего качества для исследования на просвечиваю-
щем электронном микроскопе или атомно-силовом микроскопе. В устройстве
предусмотрена тройная система детектирования внутри колонны и режим
иммерсии, которые могут использоваться одновременно для формирования
изображений во вторичных и обратно отражённых электронах.

Области применения:
материаловедение, естественные науки, биотехнологии, нанотехнологии.

Основные преимущества:

  • Самое быстрое получение информации нанометрового масштаба
    благо- даря использованию лучшей среди аналогов колонны СЭМ
    высокого раз- решения Elstar, стабильности и автоматизации
  • Возможность установки новой плазменной пушки с источником ионов
    ксенона Xe+, обладающей повышенным током зонда - до 1300 нА, что
    позволяет вытравливать огромные области материала за короткий
    промежуток времени с большой точностью (по сравнению с обычным
    источником ионов Ga+).
  • Улучшенная контрастность при беззарядном получении изображений за
    счёт шести детекторов, расположенных в колонне и под линзой
  • Возможность получения изображений высокого разрешения при различ-
    ных увеличениях, трехмерных изображений и проведения исследований
    при повешенной температуре
  • Быстрое и точное травление и осаждение самых неоднородных и слож-
    ных структур размером меньше 10 нм
  • Работа с образцами для решения конкретной задачи, благодаря возмож-
    ностям столика с пьезо-приводом (перемещения в горизонтальной плос-
    кости 110 и 150 мм)
  • Распознавание самых мелких деталей благодаря использованию моно-
    хроматора (UC) и его работе при низких энергиях пучка на субнаномет-
    ровом уровне

Характеристика

Значение

 

Электронная оптика

Автоэмиссионная пушка Шоттки с монохроматором

 
 

Тип электронной колонны

Колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения

 
 

Диапазон тока пучка

от 1 пА до 400 нA

 
 

Разрешение в электронах

- 0,6 нм при 30 кВ (STEM)*

- 0,6 нм от 15 кВ до 2 кВ

- 0,7 нм при 1 кВ

- 1,0 нм при 500 В (ICD)*

 
 

Ионная оптика

Источник ионов на базе жидкого галлия или ксенона для применения в высоком вакууме

 
 
 

Ток зонда Ga+

от 0,6 пА до 65 нA

 

Ток зонда Xe+

от 1,5 пА до 1300 нА

 

Разрешение в ионах в точке пересечения с электронным пучком

- 4,0 нм при 30 кВ— оптималь- ный статистический метод;

- 2,5 нм при 30 кВ— селектив- ный граничный метод

 
 
 

Ускоряющее напряжение

Электроны— 20 В – 30 кВ Ионы— 500 В – 30 кВ

 

Характеристика

Значение

 

Столик:

 

- Тип

5-осевой предметный столик сверхвысокой точности с электрическим приводом

 
 

- Ход по осям X и Y

150 мм, пьезопривод

 
 

- Воспроизводимость результатов по осям X и Y

1,0 мкм

 
 

- Ход по оси Z

10 мм, электропривод

 
 

- Поворот

n x 360°, пьезопривод

 

- Наклон

от –10° до +60°

 

Максимальный зазор между столиком и точкой схождения

55 мм

 
 
 

Максимальный вес образца

макс. 500 г (включая держатель)

 

Максимальный размер образца

150 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено)